판매용 중고 EVATEC Radiance #9144241

에바텍 레이디언 스 (EVATEC Radiance) 는 세계 최고의 연구소와 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 다양한 스퍼터링 시스템입니다. 레이디언 스 (Radiance) 의 기능 세트는 반응성 시스템 (Reactive System) 과 비반응성 시스템 (Non-Reactive System) 모두에서 뛰어난 성능을 제공하여 다양한 어플리케이션을 위한 씬 필름을 제작합니다. 이 플랫폼은 혁신적인 E-Layer ™ 기술 (E-Layer ™ Technology) 을 기반으로 하며, 다양한 소스에서 제공하는 고급 재료 증착 방법을 통해 품질 향상, 제어 속도 향상, 생산 시간 단축 등의 효과를 제공합니다. EVATEC Radiance 플랫폼에는 고급 전원 공급 장치, 프로세스 컨트롤러, 대상 전원 및 공랭식 RF 생성기를 포함한 일련의 고급 구성 요소가 있습니다. 전원 공급 장치는 고품질의 스퍼터링 (sputtering) 증착에 최적화되었으며, 조정 가능한 전압 및 전류 값 (sputtering process) 을 통해 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 컨트롤러는 엄격한 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 정확한 재현성과 함께 실시간으로 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. RF 생성기는 반응성 프로세스를위한 최적의 RF 플라즈마 (Plasma) 를 위해 설계되었으며, 애플리케이션에 맞게 전력 및 주파수를 조정할 수 있습니다. 라디언 스 (Radiance) 시스템은 다양한 고급 증착실 (deposition chamber) 을 갖추고 있으며, 생산 변동성을 위해 더 큰 용량을 제공하며 유연성을 높이고 증착률을 향상시킵니다. 여러 개의 챔버 (chamber) 를 활용하여 처리량을 늘릴 수 있으며, 다른 프로세스를 희생시키지 않고도 각 특정 프로세스를 정확하게 조정하고 평가할 수 있습니다. 챔버 (chamber) 는 균일 한 두께 레이어를 제공하고 가스 처리 및 기타 증착 관련 결함을 최소화하도록 설계되었습니다. EVATEC Radiance 플랫폼에는 안전성 향상, 인체 공학 향상, 가동 중지 시간 단축을 위해 설계된 여러 기능도 포함되어 있습니다. 안전 기능에는 프로세스 매개변수 자동 모니터링 (auto-monitoring of process parameters) 이 포함되어 있어 대상 설정 (set target) 이 초과되지 않도록 하고, 비상 사태의 경우 광범위한 인터록 (interlock) 및 자동 셧오프가 가능합니다. 최적화된 인체 공학은 조정 가능한 작업 높이와 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 이 시스템의 2 개의 독립적 인 진공 및 공정 모터는 서비스 수명 연장을 위해 설계되었으며, 온보드 LAN 연결은 신속한 유지 관리, 시스템 모니터링, 데이터 전송을 용이하게 합니다. 요약하자면, Radiance 는 오늘날의 주요 연구/운영 환경의 요구에 부합하도록 설계된 포괄적인 고성능 스퍼터링 (sputtering) 시스템입니다. 고급 기능과 구성 요소를 결합하여, 탁월한 프로세스 제어, 고품질 증착, 향상된 안전 및 인체 공학을 제공합니다. 이 범위는 박막 생산에서 서열 스퍼터링 (sputtered) 제품 생성에 이르기까지 다양한 응용 프로그램에 적합합니다.