판매용 중고 EVATEC Radiance #293650371
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EVATEC Radiance는 EVATEC에서 개발 한 최첨단 스퍼터링 장비로, 높은 증착률과 뛰어난 균일성 측정을 결합합니다. 이 장비는 특히 광학, 디스플레이, 태양 광 발전, 데이터 저장 및 MEMS와 같은 산업 응용 분야에 적합합니다. 특허받은 DynedK® 대상 교환기, SputterFlow 이중 소스 전원 공급 장치 및 Quick-Connect ® 대상 마운트가 특징입니다. DynitalK® 대상 교환기는 50 초 미만의 목표 인/목표 아웃 (target-in/target-out) 주기 시간을 가진 동력 대상 교환기입니다. 따라서 타겟 간에 처리량이 높고 빠르게 전환할 수 있습니다. SputterFlow 이중 소스 전원 공급 장치는 다른 타겟을 전환할 때 원활한 전원 전환을 보장하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 퇴적된 레이어의 균일성이 향상됩니다. Quick-Connect® 타겟 마운트는 빠르게 변경되는 마운트 시스템과 조절이 가능한 대상 높이로 설계되었습니다. 이를 통해 간편하고 빠른 타겟 장착 및 교환이 가능합니다. 고급 설계 외에도, Radiance 장치는 다양한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 여기에는 최대 30cm의 목표-기판 거리, 10W ~ 1500W의 전력 범위, 다수의 소스 가스 및 최대 150mtorr의 격차 폐쇄가 포함됩니다. 이 기계는 또한 초고 진공 응용 프로그램 인증을 받았으며, 기본 압력은 10-7 mtorr입니다. 이것은 매우 얇은 레이어의 증착에 이상적입니다. EVATEC Radiance는 다양한 챔버 크기로 제공되며 수동으로 또는 완전히 자동화 할 수 있습니다. 옵션 무선 주파수 (RF) 소스를 추가 할 수도 있으므로 증착 균일성 향상 및 증착률 향상. 전체적으로이 도구는 고성능 스퍼터링 프로세스를 위한 턴키 솔루션을 제공합니다.
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