판매용 중고 EVATEC Radiance #293650368
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EVATEC Radiance는 EVATEC이 개발 한 완전 통합 다용도 물리 증기 증착 (PVD) 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기판에서 금속, 합금, 유전체 및 질화물의 증착에 이상적이며, 전통적인 시스템에 비해 더 큰 제어, 유연성, 효율성을 제공하는 몇 가지 독특한 기능을 가지고 있습니다. Radiance는 탁월한 스퍼터링 성능을 위해 2 개의 별개의 구성 요소 (전원 공급 장치와 공정 챔버) 를 사용합니다. 전원 공급 장치 (Power Supply Unit) 는 최대 출력, 주파수 튜닝, 빠르게 변화하는 대상 기술 및 고급 제어 알고리즘을 결합하여 저온 증착 작업 및 우수한 프로세스 반복성을 보장합니다. 챔버 (chamber) 자체는 여러 유형의 증착 물질과 호환되도록 설계되었으며, 목표 분로 (shunt box) 에 최적화 된 전자 빔을 가지고 있으며, 더 얇거나 두꺼운 필름의 저온 스퍼터링 (sputtering) 을 할 수 있습니다. 특수 하게 설계 된 절연체 "스택 '은 길 잃은 자기장 으로부터 훌륭 한 보호 를 해 주며, 전체 기판 에 걸쳐 물질 조성 까지도 보장 해 준다. 모든 EVATEC 시스템과 마찬가지로 EVATEC Radiance 시스템은 사용자에게 친숙한 그래픽 제어 인터페이스로 설계되었습니다. 이 인터페이스는 프로세스 요구 사항에 따라 모든 매개변수를 손쉽게 조정할 수 있으며, 품질 관리 (Quality Control) 를 위해 모니터링 (Monitor) 및 데이터 로깅 (Data Logging) 용도로도 사용할 수 있습니다. 또한, 통합 대상 및 기판 적재 시스템은 처리량을 크게 증가시켜 기존 시스템에 비해 최대 3 배 빠른 단일 웨이퍼 (Wafer) 를 처리할 수 있습니다. 요약하자면, Radiance 툴은 최고의 스퍼터링 성능을 요구하는 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. EVATEC Radiance 는 뛰어난 기능, 고급 내장형 제어 알고리즘, 사용자 친화적 그래픽 인터페이스, 다양한 소재 요구 사항 간에 신속하게 전환할 수 있는 기능 등을 결합하여, 가동 중지 시간을 최소화하면서, 반복성이 높은 작업과 뛰어난 필름 품질을 제공할 수 있습니다. 탁월한 유연성으로 인해 Radiance는 광범위한 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택이되었습니다.
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