판매용 중고 EVATEC Radiance BPM5 #293650365

EVATEC Radiance BPM5는 대형 기판에서 전도성, 온도 민감성 및 매우 얇은 재료의 증착을 위해 설계된 고출력 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 박막 증착 분야에서 가장 높은 균일성 (unifority) 과 비용 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 탁월한 정밀도, 낮은 스퍼터링 전력 소비량, 높은 증착율, 뛰어난 재생성을 결합한 고급 플랫폼입니다. Radiance BPM5에는 가변 전력 고귀한 가스 발전기, 고출력 스퍼터링 건, 진공 챔버, 고정밀 모션 시스템, 터릿 스퍼터링 디포 센터 및 진공 펌핑 시스템이 장착되어 있습니다. 가변 파워 노블 가스 발전기 (variable power noble gas generator) 는 전체 목표 영역에 걸쳐 아르곤 가스 (argon gas) 의 균일 한 분포를 제공하는 반면, 스퍼터링 건 (sputtering gun) 은 목표를 활성화하고 용융하고 기판에 고착시키는 데 사용됩니다. 고정밀 모션 시스템, 터렛 스퍼터링 디포 센터 (Turret Sputtering Depo-Centre) 및 진공 펌핑 장치의 조합은 정확하고 정확한 증착 과정을 가능하게합니다. EVATEC Radiance BPM5는 전도성 및 온도 민감성 재료 (특별한 균일성) 를 포함한 광범위한 재료를 예치할 수 있습니다. 증착 균일성 (deposition uniformity) 은 가열이 필요하지 않은 표적의 수평 이동에 의해 달성됩니다. 또한, 낮은 스퍼터링 전력 소비량 (sputtering power consumption) 과 높은 증착율 (deposition rate) 의 조합은 필요한 재료를 빠르고 효율적으로 증착합니다. 타겟 준비는 스퍼터링 머신에서 중요한 부분이며 Radiance BPM5 는 이를 고려하도록 설계되었습니다. 표적 전 처리 (pre-treatment) 과정을 사용하여 표적의 산화를 방지하여 신뢰할 수있는 결과를 보장합니다. 게다가, 이 툴은 자동화된 타겟 스왑 (target swap) 기능을 갖추고 있어 스퍼터링 프로세스 동안 여러 대상을 손쉽게 준비하고 다운타임을 대폭 줄일 수 있습니다. EVATEC Radiance BPM5는 증착 기능 외에도 고급 모니터 및 제어 기능을 제공하여 안정적이고 일관된 결과를 보장합니다. 즉, 통합 컨트롤러와 데이터 로깅 (data logging) 에셋이 장착되어 있어 프로세스를 실시간으로 정확하게 모니터링, 측정, 분석할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스의 신속한 문제 해결 및 최적화 (Optimization of the process) 를 통해 생산량 및 균일성 향상을 실현할 수 있습니다. 요약하자면, Radiance BPM5는 놀라운 증착 균일성, 낮은 스퍼터링 전력 소비, 높은 증착율 및 뛰어난 재현성을 제공하는 고급 스퍼터링 모델입니다. 이 "에너지 '는 거대 한 기판 위 에 여러 가지 물질 을 증착 시키는 데 이상적 이며, 매번 질 이 높고, 신빙성 있는 결과 를 낼 수 있다.