판매용 중고 EVATEC Radiance BPM1 #293650362

ID: 293650362
빈티지: 2013
System 2013 vintage.
EVATEC Radiance BPM1은 고품질 박막 생산을위한 고급 스퍼터링 장비입니다. 여러 프로세스를 동시에 스퍼터링할 수 있으며, 다양한 애플리케이션 요구 사항에 손쉽게 대응할 수 있습니다 (영문). 특허를받은 자기 균형 빔 (magnetic balanced beam) 기술을 통해 탁월한 균일성과 뛰어난 필름 특성을 제공합니다. 이 시스템은 뛰어난 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 가지고 있어 쉽게 고성능 박막을 제작할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스를 통해 작업을 단순화하고 프로세스 제어를 강화할 수 있습니다. 이 장치는 1500W DC 전원 공급 장치로 구동되어 필라멘트 (filament) 및 목표별 스퍼터 속도를 허용합니다. 강력한 자석 배열은 스퍼터 파워를 증가시켜 넓은 스퍼터 지역에 대한 균일성을 보장합니다. 또한 자동 시작 머신 (Auto-Start Machine) 을 사용하여 생산 중 핸드 오프가 가능합니다. 스퍼터링 도구 (Sputtering Tool) 는 견고한 구조와 고급 펄스 DC 스퍼터링 프로세스를 통해 신뢰할 수 있도록 설계되었으며, 이를 통해 PVD (Physical Vapour Deposition) 조건을 효과적으로 모방 할 수 있습니다. 또한 반응성 가스 (reactive gase) 의 통합을 지원하며, 고급 프로세스에 반복 가능한 가스 조건을 제공하기 위해 가스 흐름 제어 에셋이 내장되어 있습니다. 이 모델은 다양한 응용프로그램을 위한 다양한 박막 (Thin Film) 을 제작할 수 있습니다. 절연 및 반도체 필름, 다양한 투명 산화물 (transparent oxide) 과 같은 다양한 형태 및 화학 조성의 필름을 생성 할 수 있습니다. 이 필름은 제어 가능하며, 우수한 접착 및 전기 특성으로 생산 될 수 있습니다. 또한 Autotune (TM) 기술 (Autotune (TM) Technology) 은 빠른 처리 시간으로 필름을 빠르고 쉽게 최적화 할 수있는 강력한 프로세스 최적화 시스템입니다. 전반적으로, Radiance BPM1은 뛰어난 균일성과 공정 반복성을 제공하는 고급, 사용하기 쉬운 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 로, 고성능 필름을 제공합니다.
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