판매용 중고 EVATEC MSP 1232 #293628037

EVATEC MSP 1232 장비는 매우 얇은 필름을 생산하도록 설계된 첨단 스퍼터링 시스템입니다. 이 기계는 복잡한 구조와 장치의 제작에 널리 사용됩니다. MSP 1232는 고유한 다중 축 (multi-axis) 및 다중 소스 (multi-source) 구성을 통해 넓은 영역에 걸쳐 두께가 균일한 필름을 제작할 수 있습니다. EVATEC MSP 1232에는 8 판 자기 차폐가있는 6 개의 독립적 인 소스가 있습니다. 이를 통해 넓은 지역 목표를 통해 필름을 직접 증착 할 수 있으며, 디스플레이, 반도체, MEMS 등의 애플리케이션에 적합합니다. 이 설정은 또한 높은 증착의 균일성을 제공하며, 각기 다른 장치 아키텍처에 대한 탁월한 단계 범위를 제공합니다. MSP 1232에는 동일한 유닛 내에 2 개의 개별 증착실이 있습니다. 이를 통해 두 가지 다른 요소를 동시에 스퍼터링할 수 있습니다. 이 다중 소스 (multi-source) 구성은 독립 컨트롤러 (independent controller) 를 사용하여 한 요소의 최적화된 속성을 활성화하는 반면, 다른 요소는 다른 소스 크기와 전원을 가질 수 있습니다. 이 이중 챔버 머신은 또한 부분 산화 및 금속 실리사이드를 생성 할 수있다. EVATEC MSP 1232 는 다양한 DC 및 RF 전원과 호환되며, 다양한 재료를 증착할 수 있습니다. 통합 컴퓨터 제어 도구를 사용하여 전력, 시간, 압력, 온도 등의 증착 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 혁신적인 웨이퍼 추적 자산 (wafer tracking asset) 이 특징이며, 스퍼터링 과정에서 샘플의 상태를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. MSP 1232는 연구 및 산업 응용을위한 박막 제작에 이상적인 모델입니다. 멀티 소스 설계는 뛰어난 스텝 커버리지 (step coverage) 와 반복성 (repeatability) 을 갖춘 넓은 영역에서 복잡한 필름을 균일하게 증착 할 수 있습니다. 첨단 컴퓨터 제어 장비 (CC) 는 품질이 저하되지 않고 원하는 컨트롤을 쉽게 수행할 수 있게 해 줍니다. 또한, 광범위한 재료 및 전원과의 호환성은 현대 스퍼터링 (sputtering) 프로세스에 이상적인 선택이됩니다.