판매용 중고 EMITECH SC7620 #9258013

EMITECH SC7620은 박막 증착을 위해 설계된 고성능 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. SC7620은 고급 아키텍처와 특허를 획득한 다중점 전원 제어 (multi-point power control) 기능을 통해 뛰어난 증착력 및 제어 기능을 제공합니다. 정확한 스퍼터 증착 제어를 위해 2 개의 표적 스퍼터링 소스와 고급 소스 차폐가 특징입니다. 소스에는 고출력 RF 발전기, 스테인리스 스틸 음극 및 4 개의 세라믹 스퍼터링 대상이 포함됩니다. 대상은 저전압, 높은 전류 스퍼터링, 광범위한 프로세스 매개 변수에 최적화되어 있습니다. EMITECH SC7620 은 특허를 획득한 독보적인 멀티 포인트 전원 제어 시스템을 통해 정밀 증착과 제어 기능을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 스퍼터링 (sputtering) 전원 공급 장치의 전원을 이분화하고 대상 영역의 균형을 유지하여 매우 균일한 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다. SC7620 은 직접 드라이브 (direct-drive) 대상 포지셔닝 장치를 사용하여 스퍼터 코팅 중에 스퍼터링 대상과 기판 간의 직접 접촉을 보장합니다. 이 직접 드라이브 대상 포지셔닝 머신은 컨트롤러 보드 (controller board) 에 의해 정확하게 제어되어 기판 표면에 걸친 고른 두께를 제공합니다. 이 도구를 사용하면 다중 레이어 증착에 여러 대상을 사용할 수도 있습니다. EMITECH SC7620은 강력한 프로그래밍 기능으로 다양하고 조절이 가능합니다. 다양한 프로그래밍 옵션을 통해 유연성 (Flexibility) 및 대상 증착 (Target Deposition) 기능을 제공합니다. 고급 프로그래밍 가능한 기능에는 전원 제어, 프로세스 타이밍 설정 및 단계별 증착 레시피가 포함됩니다. SC7620의 통합 온도 제어 자산은 프로세스 전반에 걸쳐 레이어 균일성을 보장합니다. 모델의 고급 온도 제어 장비는 N2 바이패스로 선택적으로 구성될 수 있으며, 최대 600 ° C의 온도를 허용합니다. EMITECH SC7620 의 고급 안전 기능은 비상 정지, 온도 조절, 여러 안전 종료를 포함합니다. 이러한 기능은 샘플, 시스템 및 환경을 피해로부터 보호합니다. SC7620은 코팅, MEMS, optics, sensing 등과 같은 응용을위한 박막 정밀 박막 계층의 증착에 이상적인 선택입니다.