판매용 중고 EMITECH / EMCORE K575 #9028726

EMITECH/EMCORE K575 스퍼터링 장비는 주로 연구 및 개발에 사용되는 고급 박막 증착 장치입니다. K 시리즈 스퍼터링 시스템 라인의 최신 모델입니다. 그 설계는 정밀 제어 (precision control) 와 높은 수준의 반복성을 제공하여 광범위한 박막 증착 (Thin film deposition) 애플리케이션을 위한 최적의 선택입니다. EMCORE K575 스퍼터링 시스템은 정확한 매개 변수 설정, 반복 가능한 증착, 높은 처리량을 제공하는 최적화된 1 단계 디지털 'open-loop' RF 전원 공급 장치를 사용하여 향상되었습니다. 새로운 단일 도가니 디자인을 사용하여, 최상위 로딩 코일 및 자석 배열은 다양한 응용 프로그램 시퀀스에 대한 빠른 레시피 실행을 용이하게합니다. EMITECH K575 는 간편한 설치 및 사용을 위한 직관적인 4.5 인치 컬러 LCD 터치스크린 제어 인터페이스와 원격 I/O 연결을 통한 맞춤형 프로그램 제어를 위한 내장형 PLC 를 갖추고 있습니다. 광범위한 PLC 모듈과 함께 사용할 수 있으며, 이 모듈을 사용하면 복잡한 프로세스 구현이 가능합니다. 장치 자체는 두 가지 주요 구성 요소 (본체와 프로세스 모듈) 로 구성됩니다. 본체에는 운영에 필요한 모든 구성 요소가 있습니다. 여기에는 PLC, 전원 공급 장치, 가스 흐름 제어, RF 전원 및 박막 증착을위한 챔버가 포함됩니다. 프로세스 모듈은 다양한 코팅 (coating) 애플리케이션에 대해 다양한 구현 시나리오를 가능하게 하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 프로세스 모듈 (Process module) 은 알루미늄 합금 보유 챔버 (Aluminum alloy holding chamber) 로 구성되며, 재료 리소스 삽입 및 처리 후 재료 제거를 용이하게하도록 설계된 슬롯이 있습니다. 또한 무선 리모콘 (Remote Control) 을 사용하여 전체 기계를 먼 거리에서 제어할 수도 있습니다. 또한, 모듈은 고급 제어 알고리즘 (advanced control algorithms) 을 사용하여 매개변수의 디지털 설정과 전체 증착 도구의 정확한 제어를 허용합니다. K575 는 연구개발 (R&D) 과 각종 산업생산 분야에 이상적인 선택이다. 안정적인 RF 전원 출력, 정밀 매개변수 설정, 안정적이고 고품질 박막 증착 프로세스를 제공합니다. 직관적인 터치 스크린 인터페이스, 프로그래밍 가능한 PLC, 무선 원격 기능이이 스퍼터링 자산을 매우 사용자 친화적 인 장비로 만듭니다.