판매용 중고 EMITECH / EMCORE EMS650X #9255810

EMTECHEMITECH/EMCORE EMS650X는 정밀 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 고급 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링 기술을 갖춘 대형 증착실을 갖추고 있습니다. 이 기술은 금속, 유전체, 질화물 등의 고품질 증착을 저렴한 비용으로 제공하므로 반도체, 광전자 (optoelectronics), 데이터 저장 (data storage) 등 업계의 요구를 충족할 수 있습니다. 디스플레이 패널은 컬러 터치스크린 인터페이스 (color touchscreen interface) 로 설계되어 시스템 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 장치에는 직관적 인 메뉴 머신 (menu machine) 이 있어 사용자는 챔버의 모든 매개변수와 설정을 빠르게 조정할 수 있습니다. EMCORE EMS650X 는 챔버에 4 개의 스퍼터 소스를 포함하며, 이는 다양한 증착에 사용될 수 있습니다. 소스는 균일하고 통제 된 스퍼터링 결과를 제공 할 수 있습니다. 이 도구는 최대 4 개의 서로 다른 기판을 지원할 수있는 고 진공 챔버 (high-vacuum chamber) 를 특징으로하며, 여러 기판에서 재료의 높은 증착을 가능하게합니다. 에셋에는 프로세스 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수있는 자동 밸브 컨트롤러 (automated valve controller) 도 포함되어 있습니다. 이 모델은 아르곤, 질소, 산소와 같은 업계 표준 공정 가스 (예: 특수 가스 혼합물) 와 호환됩니다. 공정 매개변수 (process parameter) 의 고급 제어 및 정밀한 조정을 통해 다양한 재료에 대한 스퍼터링 매개변수 (sputtering parameter) 및 증착률 (deposition rate) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 EMITECH EMS650X는 스퍼터 증착률 및 기판 편평성을 모니터링하기위한 피드백 장비를 포함합니다. 이 시스템을 사용하면 전체 증착 프로세스 전반에 걸쳐 높은 수준의 정밀도 (precision) 및 프로세스 제어 (process control) 를 유지할 수 있습니다. 전반적으로 EMTECHEMS650X는 산업 및 실험실 사용에 적합한 고품질의 고급 스퍼터링 장치입니다. 직관적인 설계, 정밀 제어, 고급 프로세스 (advanced process) 기능을 통해, 정밀 증착이 필요한 모든 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다.