판매용 중고 EDWARDS IdentiCoat 500 #9290872
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에드워즈 아이디 코트 500 (EDWARDS Identity Coat 500) 은 다양한 박막 증착 응용프로그램을 위해 설계된 스퍼터링 장비로, 모듈식 설계를 통해 다양한 크기의 기판 또는 부품을 수용할 수 있습니다. 이 시스템은 다른 기술보다 더 균일성, 높은 처리량, 입자 오염 및 수명 서비스 (lifetime serviceability) 감소와 같은 박막 증착에 많은 이점을 제공합니다. IdentifCoat 500은 고급 마그네트론 스퍼터링 유닛 (magnetron sputtering unit) 을 기반으로하며, 이는 전하를 표적으로 전달하는 이온을 던져 작동합니다. 이것 은 제한 된 영역 에 강한 전기장 을 생성 시키며, 이것 은 표적 물질 의 원자 를 "이온 '과" 전자' 를 만든다. 그 다음 에 그 전자 는 높은 속도 로 "기판 '을 향해 가속 되며, 표적 인 물질 을" 박막' 으로 증착 시킨다. 이 기계는 2% 이상의 증착 균일 성을 달성 할 수 있으며, 이를 통해 넓은 지역에서 매우 균일 한 고품질 영화를 제작할 수 있습니다. 공구 자체에는 5 개의 위치로드 락 챔버 (load lock chamber) 가 장착되어 있어 한 번에 최대 5 개의 샘플에서 스퍼터 증착을 수행 할 수 있습니다. 또한 Identity Coat에는 3 개의 독립적 인 스퍼터 소스가 있으며, 금속, 유전체 및 반도체와 같은 다양한 물질의 동시 증착이 가능합니다. 또한 공정 제어 (process-control) 자산을 사용하여 전원, 압력, 온도 등 증착 매개변수를 프로그래밍하고 관리할 수 있습니다. EDWARDS MeatchCoat 500은 또한 쉽게 설치 및 유지 보수할 수 있도록 설계되었습니다. 프로그래밍 가능한 유지 관리 모델은 표면 오염이 자동으로 발생할 수 있습니다. 또한 이 장비는 온보드 진단 시스템 (On-Board Diagnostics System) 을 사용하여 데스크탑 컴퓨터에서 원격 모니터링 및 문제 해결을 수행할 수 있습니다. 따라서 운영 매개변수를 추적, 조정하고 단위 성능을 계속 유지할 수 있습니다. 전반적으로 EDWARDS Identity Coat 500은 다양한 박막 응용 프로그램을 위해 설계된 강력하고 안정적인 스퍼터링 머신입니다. 안정적인 작동과 뛰어난 균일성으로 설치, 유지 관리가 용이합니다. 이것은 정확한 정확도로 견고하고 고품질의 박막 (thin film) 을 만드는 데 이상적인 도구입니다.
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