판매용 중고 DENTON VACUUM Discovery. #293797109
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ID: 293797109
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2007
Deposition system, 6"-8"
Vacuum load lock
Robot loading assembly
VEECO Ion source, 5 cm
Gas controller
Cables
High steel chamber: 2" x 2" x 3"
(2) VAT Gate valves
(2) RF Tuners
(2) ANGSTROM SCIENCES RF Cathodes with power supplies / controllers
(2) ADVANCED ENERGY / DRESSLER Cesar RF Power generators
CTI CRYOGENICS Cryo-Torr 8 Cryogenic pump with monitor
CTI CRYOGENICS 8200 Compressor
KYKY Turbo pump
TRP-90 Vacuum pump
Pressure monitor
1200H Controller
Isolation valve
Power supply
PC
2007 vintage.
DENTON VACUUM Reliant 2는 반도체, 광학 및 연구 응용 프로그램의 박막 증착 프로세스를 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 탁월한 균일성과 정확성을 갖춘 고품질의 박막 (Thin Film) 을 제작할 수 있는 뛰어난 성능, 유연성, 신뢰성을 제공합니다. Reliant 2에는 최첨단 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술이 적용되어 다양한 기판 재료에 박막 (thin film) 을 효율적이고 정확하게 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 이중 마그네트론 (magnetron) 구성을 특징으로하여 다중 레이어 증착 또는 합금 형성을 위해 여러 재료를 동시에 스퍼터링할 수 있습니다. 이중 마그네트론 (Magnetron) 설계는 기계의 다양성을 향상시켜 고유한 특성을 가진 복잡한 박막 (Thin film) 구조를 만들 수 있습니다. DENTON VACUUM Reliant 2의 스퍼터링 프로세스는 높은 진공 환경에서 수행되어 깨끗하고 오염이없는 증착 과정을 보장합니다. 이 도구는 매우 높은 진공 수준을 달성하고 유지할 수있는 견고한 진공 펌프 (vacuum pump) 자산을 갖추고 있으며, 뛰어난 접착력과 균일성을 갖춘 고품질의 박막 코팅에 필수적입니다. 진공 모형은 또한 가스 상 (gas-phase) 상호 작용을 최소화하고 안정적인 프로세스 조건을 보장함으로써 스퍼터링 프로세스의 전반적인 효율성에 기여합니다. Reliant 2에는 고급 제어 및 모니터링 기능이 있으며, 사용자는 증착률, 목표 전력, 가스 흐름 속도, 기판 온도 등의 증착 매개변수를 정확하게 조정하고 최적화할 수 있습니다. 이 장비에는 실시간 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능을 제공하는 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 가 장착되어 있어 프로세스 최적화 및 품질 제어를 위한 프로세스 매개변수를 추적 및 분석할 수 있습니다. DENTON VACUUM Reliant 2의 주요 장점 중 하나는 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 대상 물질을 수용 할 수있는 기능입니다. 이 시스템은 간편한 타겟 변경 (Target Changing) 기능을 제공하여 각기 다른 타겟 자료를 빠르고 효율적으로 전환할 수 있습니다. 이러한 유연성으로 인해 Reliant 2는 여러 재료와 박막 구조의 증착이 필요한 연구 개발 응용 프로그램에 이상적입니다. 고급 스퍼터링 기능 외에도 DENTON VACUUM Reliant 2 는 다양한 옵션 기능과 업그레이드를 제공하여 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족합니다. 여기에는 개선 된 필름 접착 및 필름 형태 제어를 위한 기판 난방 기능, 필름 특성의 실시간 특성화를위한 현장 모니터링 도구 (in-situ monitoring tools) 가 포함됩니다. 이 장치는 자동화 및 소프트웨어 제어 시스템 (Software Control System) 과 통합되어 생산성 및 작동 용이성을 높일 수 있습니다. 전반적으로, Reliant 2는 최첨단 기술과 사용자 친화적 인 작업을 결합하여 고성능 박막 증착 기능을 제공하는 정교한 스퍼터링 머신입니다. 반도체 장치 제작, 광학 코팅 응용 프로그램, 연구 및 개발 프로젝트의 경우, DENTON VACUUM Reliant 2는 뛰어난 품질과 성능으로 정확하고 균일한 박막 코팅을 달성하기 위해 안정적이고 다양한 솔루션을 제공합니다.
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