판매용 중고 DENTON VACUUM Desktop #9070115

ID: 9070115
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6".
DENTON VACUUM Desktop (DVTD) 은 완전한 진공 박막 코팅 프로세스를 용이하게하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 박막 전자 제품, 하드 코팅 (hard coating), 광학 박막 등의 응용 분야에 사용할 수 있습니다. DVTD는 스퍼터링 챔버, 음극 어셈블리 및 조정 가능한 대상으로 구성됩니다. 스퍼터링 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 혁신적인 더블 월 디자인이 특징입니다. 이 디자인은 내구성이 뛰어난 고진공 정적 분위기를 만들어 최적의 스퍼터링 환경을 제공합니다. 방에는 압력 (pressure), 안전 밸브 (safety valve), 배기 콘센트 (exhaust outlet) 를 측정하기 위해 진공 게이지가 장착되어 있습니다. 음극 어셈블리 (cathode assembly) 는 스퍼터링 프로세스의 중요한 구성 요소이며 구리 메쉬 재료로 만들어집니다. 이로써 균일 한 "스퍼터링 '에 필수적 인 자기장 의 균일 한 분포 를 제공 할 수 있다. "마그네틱 실드 (Magnetic Shield) '를 장착해 목표물을 자화 (Magnetization) 로부터 보호한다. 조정 가능한 대상은 기판에 배치 된 재료의 균일 한 두께를 보장합니다. 그것 은 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며, 음극 과 기판 사이 의 거리 를 조정 하기 위하여" 스테인레스' 강 을 위아래로 쉽게 이동 할 수 있도록 설계 되었다. 표적은 또한 "L (L)" 모양으로 이동 할 수 있으며, 이는 플럭스 (flux) 방향을 쉽게 제어하기 위해 어떤 방향으로든 회전 할 수 있습니다. 코팅 성능이 우수하도록 DVTD에는 여러 가지 보호 기능이 장착되어 있습니다. 수냉식 시스템 (water-cooled system) 을 통해 효율적인 열 전달을 보장하고 열 손상을 방지합니다. 이 장치는 또한 지상 결함 (Ground Fault) 및 과전류 보호 (Over Current Protection) 와 위험한 상황의 경우 전원을 차단하기위한 긴급 스위치로 설계되었습니다. 전반적으로, Desktop은 전체 진공 박막 코팅 프로세스를 용이하게하는 효과적인 스퍼터링 장치입니다. 혁신적인 디자인은 균일 한 스퍼터링에 적합한 내구성, 고진공 정적 분위기를 제공하는 반면, 조절 가능한 자기 방패 (magnetic shield) 는 플럭스 방향을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 기계 에 포함 된 수많은 보호 기능 은 또한 "코우팅 '과정 이 안전 하고 효율적 으로 진행 되도록 보장 해 준다.
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