판매용 중고 DENTON VACUUM Desktop II #9249737

DENTON VACUUM Desktop II는 정밀 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 연구 개발 (Research and Development) 에 이상적인 이 시스템은 컴팩트한 설계를 갖추고 동시 기판 처리를 지원하는 이중 기판 홀더를 통해 처리량을 극대화합니다. 인상적인 기능의 배열을 자랑하는 이 장치에는 고진공 펌핑 기능, 초광속 스로틀 밸브 머신, 가변 주파수 전원 공급 장치, 통합 질량 흐름 컨트롤러 등이 포함됩니다. 데스크탑 II (Desktop II) 는 복잡한 박막 증착 어플리케이션에 필요한 고성능 스퍼터링 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 400 리터/분 터보 분자 펌프와 대형 수냉식 포라인 트랩 덕분에 < 1x10-4 Pa (1 x 10-4 Pa) 의 최대 압력 수준에 도달 할 수 있습니다. 초광역 스로틀 (throttle) 밸브 자산은 고도로 조절된 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 를 만드는 데 도움이 되며 사용자가 정확한 스퍼터 증착률을 달성 할 수 있습니다. 이 모델에는 이중 이온 폭격을 할 수있는 고출력 스퍼터 소스도 포함되어 있습니다. 이것은 향상된 필름 구조 균일성과 개선 된 박막 접착력을 제공합니다. 가변 주파수 전원 공급 장치는 RF 및 DC 스퍼터링 응용 프로그램을 모두 지원할 수 있으며, 통합 질량 흐름 컨트롤러는 사용자가 PVD 및 ALD 프로세스에 사용되는 반응성 가스의 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 데이터 모니터링 및 제어를 위해 제공된 PC에 연결된 고급 디지털 제어 시스템 (Advanced Digital Control System) 을 갖추고 있습니다. 또한 사용자는 반복 가능성과 시스템 성능 향상을 위해 레시피를 만들고 저장할 수 있습니다 (영문). 이 툴은 업계에서 가장 엄격한 안전 기준 (Safety Standard) 을 준수하며, 가동 시간 최적화를 위한 최소한의 유지 보수 요건으로 작동하도록 설계되었습니다. 결론적으로, DENTON VACUUM Desktop II는 정밀도와 처리량이 가장 중요한 박막 증착 애플리케이션을 위한 최고의 솔루션입니다. 강력한 스퍼터링 소스 (sputtering source) 와 기능이 풍부한 디자인은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 와 광전자 산업 분야의 연구 개발 응용 분야에 이상적인 선택입니다.