판매용 중고 DENTON VACUUM DESK II #9283596

DENTON VACUUM DESK II는 강력한 스퍼터링 장비로, 반응성 스퍼터링을 사용하여 처리량이 많은 박막 증착의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 효율적인 샘플 생산에 중점을 두며, 기판 온도가 비교적 일관성을 유지하여 일관된 필름 증착 결과를 가능하게합니다. 이 장치는 8 인치 알루미늄 코팅 된 강철 진공 실과 4 개의 독립적으로 작동하는 동축 자기 차폐, 방향 전자 빔 건으로 구성됩니다. 총은 에너지 효율이 높은 챔버 (chamber) 의 작동 영역으로 전자를 들어올리고, 고반사 플랫 진공 벽 (flat vacuum wall) 과 곡면 차폐로 고밀도 플라즈마를 생성합니다. 이것 은 진공실 내 에 조종 된 환경 을 조성 하여 전자 "빔 '총 이 균일 하고 일관성 있는" 스퍼터' 속도 를 제공 할 수 있게 한다. 총의 가변 주파수 (variable frequency) 는 또한 광범위한 온도에 도달하여 스퍼터 (sputter) 공정의 최대 유연성을 허용합니다. 이 시스템은 또한 일관성 있는 성능을 보장하기 위해 여러 가지 고급 모니터링 시스템 (advanced monitoring system) 을 갖추고 있습니다. 온도 모니터링에는 고급 프로그래머블 로직 컨트롤러 (programmable logic controller) 가 사용되며, 쿼츠 크리스탈 주파수 모니터는 총 주파수를 추적합니다. 2 차 진공 모니터 (secondary vacuum monitor) 도 있는데, 이 모니터는 챔버 내에서 적절한 수준의 진공 상태를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 도구 는 또한 특허 받은 "헬륨 '회수 자산 을 사용 하여 낭비 를 감소 시키기 위해 사용 되며, 각" 스퍼터' 주기 끝 에 "헬륨 '을 회수 할 수 있게 해 주며, 상당 한 시간 과 비용 절감 을 가져다 준다. 마지막으로, DESK II는 타이머와 경보를 포함한 여러 가지 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 장비가 너무 오래 과열되거나 실행되지 않도록 할 수 있습니다. 고급 자기 차폐 (Advanced Magnetic Shielding) 는 또한 조작자를 유해한 방사선으로부터 보호하는 데 도움이됩니다.