판매용 중고 DENTON VACUUM DESK II #293618089
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ID: 293618089
Sputtering system
Rotating stage
Vacuum pump
MAGNETRON Sputter head
Does not include gold foil target material
Power supply: 120 V, 60 Hz.
DENTON VACUUM DESK II는 얇은 필름 증착을위한 작고 사용자에게 친숙한 스퍼터링 장비입니다. 캐소딕 아크 증착, 이온 빔 스퍼터링, 물리적 증기 증착, 반응성 스퍼터 증착 등 고성능 필름 증착 응용을 위해 설계된 진공 기반 증착 시스템입니다. 이 장치에는 다양한 기판 구성 및 공정 매개변수 (예: 작업압, 온도, 대상 재료) 가 있습니다. 즉, 운영, 유지 관리가 용이하며, 특정 프로세스의 요구에 맞게 기판, 대상 자료, 매개변수를 신속하게 변경할 수 있습니다. DESK II의 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 에는 스테인리스 스틸 벨로우 (stainless steel bellows) 구조가 있으며 소스 및 대상 홀더를 쉽게 액세스 할 수있는 3 피스 디자인이 있습니다. 소스 홀더는 최대 12 "의 기판을 수용 할 수 있으며, 대상 홀더는 최대 20" 직경을 수용 할 수 있습니다. 이 기계는 -20 ° C ~ + 400 ° C 사이의 온도를 처리 할 수 있으며, 광범위한 가스 종, 최대 400 mTorr의 압력을 제공합니다. 압력 범위가 10-4 ~ 10-7 mTorr인 우수한 진공 환경을 제공합니다. 이 도구에는 제어판 (Control Panel) 과 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 원격 위치에서 자산을 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 이 장착되어 모델의 안전한 작동을 보장합니다. 또한 온보드 진단 장비 (On-Board Diagnostic Equipment) 를 통해 사용자는 증착 과정에서 발생할 수 있는 문제를 해결할 수 있습니다. DENTON VACUUM DESK II는 시스템 가동 시간을 극대화하고 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 다용도 장치 (versatile unit) 는 광범위한 증착 과정과 재료를 처리 할 수 있습니다. 그것 은 여러 가지 기판 모양 과 크기 로 된 "박막 '의 높은 처리량 과 증착 에 이상적 이다. 이 기계는 탁월한 프로세스 안정성과 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다.
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