판매용 중고 DENTON VACUUM DESK I #9163474

DENTON VACUUM DESK I 장비는 비 전도성 및 전도성 기판 모두에 얇은 금속 필름을 증착하도록 설계된 강력한 진공 스퍼터링 시스템입니다. 단일 챔버에 진공 스퍼터링 (sputtering) 과 전자 빔 증발 (electron beam evaporation) 을 모두 포함하는 하이브리드 유닛입니다. 그것 은 금속, 합금, 산화물 등 여러 가지 물질 을 증착 시킬 수 있는, 매우 융통성 있는 기계 이다. 이 도구는 두 가지 주요 부분, 즉 진공실과 전자 빔 증발기로 구성됩니다. 진공 챔버는 2 개의 존, 프로세스 존 및 프리 챔버로 나뉩니다. 프로세스 영역은 증착이 발생하는 곳입니다. 자산에는 RF 구동 마그네트론 스퍼터 소스, 6 개의 전자 빔 소스 및 1 개의 마그네트론 셔터가 장착되어 있습니다. 프리 챔버는 공정 구역 입구이며 2 개의 황삭 펌프, 2 개의 황삭 밸브 및 게이트 밸브가 있습니다. 이것은 공정 구역에 들어가기 전에 좋은 품질의 챔버 압력을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 모델에는 고급 제어 장비도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 사용자가 프로세스의 다양한 매개변수를 설정할 수 있도록 함으로써 유연성을 더욱 높일 수 있도록 합니다. 또한 장치 모니터링 및 제어를위한 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 이 제어 기계를 사용하면 압력, 온도, 증착 시간을 모니터링하고 가스 흐름 (gas flow), 기판 바이어스 전압 (substrate bias voltage), 빔 전류 (beam current) 와 같은 프로세스 변수를 제어할 수 있습니다. DESK I 도구는 박막 증착, 다층 구조 생성, 보호 코팅 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 스퍼터링 자산은 작동이 간단하며 고품질 영화를 제공합니다. 또한 비용 효율성이 높으며 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 모델에는 다양한 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있으며, 작업하는 동안 사용자와 환경이 안전하게 유지됩니다.