판매용 중고 CVC ICS 660 #135722

CVC ICS 660은 다양한 코팅의 박막을 기판에 배치하는 데 사용되는 직류 (DC) 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 고성능 스퍼터 건 (Sputter Gun) 과 고유 한 건 마운트 (gun-mount) 조합을 결합하여 뛰어난 기판 커버리지와 고성능 어플리케이션에서 탁월한 수명을 제공합니다. 이 장치는 각 건에 대해 별도로 조절 가능한 전압 및 전류 (current) 설정을 갖춘 DC 전원 공급 장치로 구동됩니다. ICS 660 은 사각형 자석 (rectangular) 과 원형 자석 (circular magnet) 을 비롯한 다양한 자석을 갖추고 있어 스퍼터링 공정 (sputtering process) 을 미세하게 튜닝할 수 있습니다. 이 기계는 회전하는 마그네트론 스퍼터링 (RMS) 프로세스를 기반으로하며, 이 과정에서 고출력 마그네트론 건 (magnetron gun) 이 기판과 회전하는 소스 자석 사이의 회전 플랫폼에 장착됩니다. 이 유형의 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 는 기판에 균일 한 재료 분포를 생성하며, 보다 전통적인 평면 스퍼터링 시스템에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. 가장 중요한 것은, 자산의 회전 측면은 전체 기판 표면에 걸쳐 얇은 레이어의 균일 한 증착을 허용한다는 점입니다. & # 160; & # 160; 이 균일 한 증착 공정은 기질의 가장자리에 가까운 사각 지점에서의 증착을 제거하며, 이는 불균일 한 레이어 두께를 생성 할 수있다. CVC ICS 660에는 다양한 고급 기능도 포함되어 있습니다. 회전 건 마운트 (rotating gun mount) 는 스퍼터 각도를 정확하게 조정하여 기판의 최적의 범위를 보장합니다. 또한, 조정 가능한 압력 게이지를 사용하면 개별 어플리케이션 요구 사항에 따라 압력을 다시 조정할 수 있습니다. 이 모델에는 스퍼터 건 (Sputter Gun) 이 목표 재료를 잃을 때 감지할 수있는 스마트 센서 (Smart Sensor) 가 장착되어 있으며, 쉽고 일관된 증착률을 유지하기 위해 프로세스 매개변수를 자동으로 조정합니다. ICS 660 스퍼터링 장비는 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 에서 항공 우주 응용 프로그램 (aerospace application) 에 이르기까지 다양한 산업 응용 분야에 적합한 고품질 박막을 생산합니다. DC 전원 공급 장치 및 RMS 프로세스를 사용하여 CVC ICS 660은 거의 모든 크기의 기판에 금속, 금속 산화물 및 기타 박막 재료를 균일 하게 증착합니다. 고급 기능 (Advanced Features) 은 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 보장하는 한편, 고객의 특정 요구사항에 맞게 증착 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있는 기능을 제공합니다 (영문).