판매용 중고 CVC AST 400 #126819

CVC AST 400
ID: 126819
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering module, 6".
CVC AST 400 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 다양한 재료로 오브젝트를 코팅하기위한 혁신적인 새로운 시스템입니다. 그것은 높은 진공 챔버, 음극 배선 및 접촉, RF RF 전원 및 중앙 진공 펌핑 장치로 구성됩니다. AST 400 스퍼터링 머신 (AST 400 Sputtering Machine) 은 다양한 기판에 얇은 금속 또는 기타 물질을 증착 할 수 있습니다. CVC AST 400의 진공실 (vacuum chamber) 은 스퍼터링 공정에 매우 높은 진공 환경을 제공하도록 설계되었으며, 기판에 손상을 입히지 않고 얇은 층의 물질을 기판에 증착 할 수 있습니다. 챔버에는 고진공 및 고속 사이클링 밸브가 장착되어 있으며, 0.001 torr의 기본 압력에 도달 할 수 있습니다. 챔버에는 스퍼터링 프로세스를 더 잘 제어하기위한 알고리즘 구동 가스 혼합 도구 (algorithm-driven gas mixing tool) 도 있습니다. 자산의 고효율 RF 생성기 (HF Generator) 는 제어되고 조절 가능한 RF 전원을 제공하여 재료 증착 속도를 변화시켜 정확한 레이어 두께를 제공합니다. 발전기에는 고음질, 저소음 증폭기 (low-noise amplifier) 가 장착되어 있어 스퍼터링 시 RF 전원이 일정한 수준으로 일관되고 유지됩니다. 이 모델은 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 효율적인 스퍼터링 (sputtering) 을 위해 최적의 압력을 유지하도록 고급 중앙 진공 펌핑 장비로 완성되었습니다. 진공 펌프는 0.001 토르 (torr) 까지 압력을 달성 할 수있는 조정 가능한 유량을 갖는 고정밀 터보-분자 펌프로 구성됩니다. 펌핑 시스템은 유지 관리 시간과 비용을 줄이기 위해 설계되었습니다. 전반적으로 AST 400 스퍼터링 유닛 (AST 400 Sputtering Unit) 은 얇은 층의 재료를 다양한 기판에 배치하기위한 혁신적인 기계입니다. 이 툴은 유지 보수 비용과 시간을 줄이면서 탁월한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 고효율 RF 생성기는 일관된 스퍼터링 결과를 보장하는 반면, 중앙 진공 펌핑 자산은 최적의 압력을 유지합니다.
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