판매용 중고 CVC 611 #9160360

CVC 611 (CVC 611) 은 최고 속도와 효율성을 갖춘 넓은 지역에 박막을 배치하도록 설계된 멀티 타겟 반응성 스퍼터링 장비입니다. 마그네트론 스퍼터링 기술과 컴퓨터 제어 기판 홀더를 사용하여 고품질 박막 특성을 만듭니다. 611 스퍼터링 시스템은 대상 휠, 주파수 변환기, 마그네트론, 기판 홀더, 공정 챔버, 기판 스페이서 패널, 수냉식 패널 및 컨트롤러를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 타겟 휠에는 6 개의 타겟이 있으며, 각각 자체 주파수 변환기가 있으며, 다중 스퍼터링 구성이 가능합니다. 주파수 변환기는 스퍼터링 중에 전원을 미세하게 튜닝할 수 있습니다. 마그네트론 (magnetron) 은 고밀도 플라즈마를 생성하여 기판에 짝수 코팅을 제공합니다. 기판 홀더에는 온도 및 가스 압력 조절을위한 내장 센서가 내장되어 있습니다. 공정 챔버에는 스퍼터링 제어를 위해 내화 물질과 플라즈마 제어를 위해 이온화 된 가스가 장착되어 있습니다. 또한 스퍼터링 속도를 높이기 위해 진공 펌프가있는 대피 장치가 있습니다. 기판 스페이서 패널은 챔버 내부의 균일 한 기판 간격 및 위치를 제공합니다. 냉각 패널은 물을 사용하여 스퍼터 (sputtered) 기판을 식히고 챔버 온도를 유지합니다. CVC 611의 컨트롤러는 정확한 전원 어플리케이션 및 대상 타이밍을 허용합니다. 611 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 다용도가 높으며 넓은 지역에 다양한 박막을 배치 할 수 있습니다. 뛰어난 적용 범위, 정밀, 속도 및 효율성을 제공합니다. 고급 사진 분석, 반도체 장치 제작, 데이터 저장 및 생명 과학 산업에 자주 사용됩니다. CVC 611은 안정적이고 견고한 툴로서, 일관되고 오래 지속되는 성능을 제공합니다.