판매용 중고 CVC 611 #9077095

CVC 611
제조사
CVC
모델
611
ID: 9077095
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Sputtering system, 8" C2C (4) 8" RF PVD stations CTI CT-8F cryo pump and compressor Brooks robot VT-5 Brooks Indexer Techware II controller 3" to 6" wafer handling 1996 vintage.
CVC 611 (CVC 611) 은 넓은 지역에서 고품질 및 균일성 필름을 침착 및 스퍼터링 할 때 사용되는 진공 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 진공실, 스퍼터링 건, 압력 컨트롤러, 제어 장치로 구성됩니다. 진공실 은 "아크릴 '본체 와" 스테인레스' 강철 기지 로 구성 되어 있으며, 실내부 와의 시각 상호작용 을 위한 구경 "포트 '를 갖추고 있다. 금, 알루미늄, 크롬, 티타늄 등의 재료에 대해 엔진 작동에 해당하는 적절한 배경 압력을 생성 할 수 있습니다. 챔버에는 비교적 큰 내부 부피가 있으므로 빠른 대피 및 빠른 스퍼터 증착이 가능합니다. 필름 증착에 사용되는 스퍼터링 건에는 조정 가능한 주파수와 전력 수준이 있습니다. 수냉식 선형 이온화 된 소스를 사용하여 필름 층의 높은 속도와 균일 한 증착을 가능하게합니다. 근원은 최적의 예금 정확도로 긴 듀티 사이클 (long duty cycle) 을 달성하도록 조정 할 수 있습니다. 총은 유리, 석영 또는 실리콘 웨이퍼를 포함한 여러 기판을 다룹니다. 압력 제어기는 증착 중에 필요한 환경을 제공 할 책임이 있습니다. 즉, 진공 및 온도를 유지하여 최적의 작업 상태를 만듭니다. 이것은 스퍼터 속도를 일정하게 만들어 필름 품질과 균일성을 유지합니다. 611과 함께 사용되는 제어 기계는 Open-PACE입니다. 이 인터페이스는 수많은 제어 및 작업 옵션을 제공하는 GUI입니다. 이 도구를 사용하면 예금 속도, 필름 두께, 텍스처, 균일성을 정확하고 일관성 있게 제어할 수 있습니다. 전반적으로 CVC 611 (CVC 611) 은 넓은 지역에 비해 정밀하고 균일하게 필름을 증착 할 수있는 고급 스퍼터링 자산입니다. 압력 컨트롤러 (Pressure Controller) 를 통해 필요한 환경을 제공하고 사용자 인터페이스를 통해 필요한 컨트롤을 제공하는 611 (611) 은 품질 필름 레이어가 필요한 모든 프로젝트에 최적의 증착 도구를 제공합니다.
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