판매용 중고 CVC 601 #9123996

CVC 601은 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 박막 증착 공정의 효율성과 유연성을 향상시키기 위해 설계된 단일 챔버 (single-chamber) 이중 마그네트론 시스템입니다. 이 장치는 내장 전원 공급 장치가 내장 된 단일 고 진공 챔버와 이중 마그네트론 스퍼터링을위한 RF 발전기를 사용합니다. 직사각형, 개방형 챔버, 스퍼터링 재료를위한 통합 통풍구, 챔버 상하 (gas inlet port) 및 기판의 수직 설정 단계 (settical setting stage) 가 특징입니다. 박막 (thin-film) 을 침전하기 위해 샘플을 챔버에 적재하고 진공이 확립됩니다. 그런 다음 아르곤 가스가 챔버에 도입되고 2 개의 저주파 (13.56 MHz) RF 발전기에 의해 스퍼터링됩니다. "마그네트론 '의 동력 과 주파수 는 모두 최적 의" 코우팅' 을 위하여 조정 할 수 있다. 기판 은 "마그네트론 '표적 으로부터의 원하는 거리 에 위치 한" 플랫폼' 위 에 놓인다. RF 전원은 원하는 값으로 램프되며, 증착 코팅 (deposition coating) 이 필요할 때 스퍼터링 된 재료를 기판에 수집합니다. 601 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 매우 효율적이며 다양한 박막 증착 프로세스에 사용될 수 있습니다. 높은 증착률, 낮은 수준의 기판 충전을 자랑하며, 다양한 기판에 고품질의 박막 (thin-film) 을 배치하는 데 이상적입니다. 큰 챔버 (chamber) 크기를 사용하면 여러 기판을 스퍼터링하거나, 더 큰 코팅에 더 큰 기판을 사용할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 마그네트론 (Magnetron) 출력 및 고온과 저온으로 예금 할 수있는 능력으로 높은 증착율을 지원합니다. 또한이 자산은 공동 증착 및 반응성 스퍼터링과 같은 고급 프로세스도 갖추고 있습니다. 전반적으로 CVC 601 모델은 다양한 박막 증착 응용 프로그램에 강력하고 효과적인 도구입니다. 고효율적이고 유연한 공구로 다양한 재료에 품질 코팅 (quality coating) 을 배치할 수 있습니다.