판매용 중고 CVC 601 #9060536

CVC 601은 최첨단 직류 (DC) 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 마이크로 일렉트로닉스 및 광전자 장치 제작에 대한 기본 및 응용 연구를 위해 설계되었습니다. 다양한 운영 매개변수 (operating parameter) 를 정확하게 제어하여 다양한 스퍼터링 기술 내에서 고품질의 박막 (thin film) 을 생성합니다. 601 은 모듈식 (modular) 설계를 통해 다양한 구성 옵션을 통해 연구 및 산업 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 산화, 질화 및 기타 박막 응용을위한 진정한 DC 스퍼터링 장치입니다. 6 인치 타겟 머신은 고급 불균형 마그네트론 스퍼터링 소스를 사용하여 긴 수명, 높은 속도 증착, 재생 가능한 결과를 제공하도록 최적화 할 수 있습니다. 고성능 RF 튜닝 장치는 안정적이고 반복 가능한 프로세스 제어를 위해 설계되었습니다. CVC 601에는 전원 공급 장치, 히터, 셔터 도구 및 터보 분자 펌프가있는 진공 자산이 포함됩니다. 이 모델은 챔버 압력 (chamber pressure), 베이스 압력 (base pressure) 및 작동 압력 (operating pressure) 을 제어하도록 구성되어 필요한 최적의 압력 값에 기판을 정확하게 준비 할 수 있습니다. 작동 온도의 정확한 제어는 높은 정밀도 Pt1000 저항 온도계를 가진 고급 PID 제어 장비에 의해 활성화됩니다. 601 시스템용 소프트웨어 패키지를 사용하면 대상 위치, 기판 위치, RF 전원 공급 장치에 대한 정확한 micron 레벨 제어가 가능합니다. 온보드 로봇 암을 사용하면 배치 처리를 위해 자동 기판 배치 및 읽어들일 수 있습니다. 다른 기능으로는 자동화된 프로세스 제어 장치, 광 피드백 셀 (optical feedback cell), 프로세스 모니터링 모듈 및 운영자 안전을 보장하는 안전 연동 머신 (Safety Interlock Machine) 이 있습니다. 또한, CVC 601은 다른 가스로 챔버를 대피 및 백필링하기 위해 옵션 (quick-disconnect gas distribution tool) 을 사용하여 사용자 정의 할 수 있습니다. 601은 재료 연구, 박막 증착 및 표면 특성에 이상적인 도구입니다. 태양 전지, 평면 패널 디스플레이, CMOS 이미징 장치, 하드 코팅, MEMS 장치 등 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 프로세스 매개변수 (process parameter), 다양한 고급 기능, 다양한 소프트웨어 등에 대한 정확한 제어 기능을 통해 탁월한 사용자 환경을 제공합니다.