판매용 중고 CVC 601 #9003215

CVC 601은 금속, 합금, 반도체 및 절연체의 얇은 필름 (예: 얇은 유리 또는 플라스틱) 을 기판에 배치하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 최대 생산 효율을 염두에두고 설계된 산업용 스퍼터링 시스템입니다. 601은 최대 8 개의 목표물과 2 개의 기판 보유자를 수용 할 수있는 챔버로 구성됩니다. 대상을 쉽게 변경하여 양의 이온 정적 스퍼터링을 달성 할 수 있습니다. 높은 펌핑 속도는 스퍼터링 증착이 발생할 수있는 챔버에서 높은 진공 환경을 제공합니다. CVC 601은 대상 재료에 따라 마그네트론 유형 RF 또는 DC 전원을 사용합니다. RF 전원은 175kHz의 주파수로 작동하고 DC 전원은 3 상 전원 공급 장치를 사용합니다. 박막의 증착을 위해 601의 성능을 조정하기 위해 어려운 점화 방법 (duduous ignition method) 이 사용됩니다. 내장 콘텐츠 기반 제어 장치는 다양한 증착 조건에 대한 프로세스 매개 변수를 최적화합니다. 약실의 온도는 수냉식 또는 공랭식 냉각제를 사용하여 제어 할 수 있습니다. 또한 온도, 압력, 가스 흐름에 대한 내장 센서를 사용하여 챔버를 모니터링 할 수 있습니다. CVC 601은 증착 매개 변수 설정을 위해 수동 및 자동 제어 작업을 모두 제공합니다. 이러한 자동화된 제어 (automated control) 와 수동 제어 (manual control) 의 조합을 활용하여 601은 특정 고객 요구 사항을 충족하는 박막 증착에 맞게 조정할 수 있습니다. 프로세스 매개변수는 프로그래밍 가능한 메모리에 저장하고, 필요할 때 (수동으로 변경하지 않는 한) 액세스할 수 있습니다. CVC 601은 반도체 제작 공장 또는 연구 및 실험실 연구에 사용하도록 설계되었습니다. 첨단 제어 머신과 높은 펌핑 속도로 601은 다양한 어플리케이션을 위해 일관성 있는 고품질 박막 (thin film) 을 만들 수 있습니다.