판매용 중고 CVC 601 #83143

CVC 601은 얇은 금속 및 금속 합금 필름을 증착하는 데 사용되는 고성능 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 반응성 또는 비 반응성 스퍼터링 프로세스에 적합합니다. 두 개의 표적으로 구성되어 있으며, 서로 다른 두 재료를 동시에 생산할 수 있습니다. 이 장치에는 PVD 및 PA6 전원 공급 장치가 있으며, 다중 구성 요소 필름 구조와 단일 구성 요소 필름을 증착 할 수 있습니다. 601은 이동 가능한 기판 단계를 특징으로하며, 이를 원하는 스퍼터링 각도로 정확하게 설정할 수 있습니다. 이 각도는 최적의 필름 밀도 및 컴포지션 제어에 맞게 조정할 수 있습니다. 기계에는 다양한 타겟 로딩 (target-loading) 이 있으며 두께가 다른 필름을 생성 할 수 있습니다. CVC 601에는 고출력, 조절 가능한 주파수 RF/DC 발전기와 2 x 30cm 진공 챔버가 장착되어 있습니다. RF 발전기의 전력 범위는 최대 700 와트이며 총 1400 와트입니다. 발전기는 또한 전계 강도 측정 장치 (field strength measuring device) 와 전력 제어 도구 (power control tool) 를 가지고 있어 스퍼터링 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 자산에는 RF 바이어스, 전력, 압력 및 온도를 포함한 여러 컨트롤이 있습니다. 이를 통해 사용자는 배치 프로세스를 정확하게 모니터링하고 변조 할 수 있습니다. 온도 범위는 150-1000 C 사이에서 조정할 수 있으며 온도 램프 옵션이 있습니다. CVC 컴퓨터 모델의 연산자에 의해 온도 범위를 빠르게 설정하고 조정할 수 있습니다. 601에는 이온 소스 (ion source) 도 있으며, 이는 이온-보조 스퍼터링에 사용될 수 있으므로 필름 품질이 향상됩니다. 선택적 가스 분사 장비도 있는데, 이는 아르곤 (Argon) 또는 산소 (Oxygen) 를 반응성 가스로 사용하여 반응성 스퍼터링 프로세스에 사용될 수 있습니다. CVC 601은 또한 인라인 입자 분석 시스템을 특징으로하며, 이는 필름 구성을 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 입자 분석 단위는 0.3 ~ 9.9 미크론의 크기 범위에서 입자를 감지 할 수 있습니다. 안전 측면에서 601에는 우발적 인 mis-operation을 방지하는 interlock safety 시스템이 장착되어 있습니다. 기계에 CEC 승인 안전 스위치와 비상 정지 버튼이 있습니다. 스퍼터링 방지 장치 (anti-sputtering device) 도 사용할 수 있으며, 스퍼터링 중에 생성 된 입자가 챔버에 들어가는 것을 방지합니다. CVC 601은 강력하고 신뢰할 수있는 도구로서, 효율적인 박막 증착에 사용할 수 있습니다. 그것 은 조작 하기 쉽고, 증착 과정 을 정확 하게 조절 하여, 균일 한 "필름 '질 을 낼 수 있다. 유연성, 안전성, 사용 편의성을 결합한 601은 박막 증착에 이상적인 도구입니다.