판매용 중고 CVC 601 #293620652

CVC 601은 고진공 증착 전문가 CHA Industries에서 생산 한 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 대형 기판에서 박막 (Thin Film) 을 제작하는 데 사용하기 위한, 맞춤형 (Custom) 방식으로 설계된 통합 장비입니다. 탁월한 균일성 (unifority) 과 제어 (control) 를 제공하도록 설계되어 대규모의 코트가 어려운 기판에서도 균일 한 증착을 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 3 가지 주요 구성 요소 (스퍼터 소스, 기판 홀더 및 전원 공급 장치) 로 구성됩니다. 이 "소오스 '는 진공 환경 에서" 이온' 을 생산 하도록 설계 되었으며, 기판 은 여러 가지 조정 가능 한 특징 을 갖춘 "홀더 '에 의하여 위치 에 있게 된다. 전원은 스퍼터링 소스 (sputtering source) 와 기판 홀더 (기판 홀더) 의 전극에 고전압 전류 (high-voltage electric current) 를 공급하여 입자가 소스에서 방출되고 증착 중 기판 표면의 입자의 산란화를 초래한다. "스퍼터링 '과정 은 고립 된 진공실 에서 진행 되는데, 그 진공실 에서는 작동 압력 이 주변 수준 이하로 유지 된다. 입자와 기판 사이의 효과적인 상호 작용을 보장하기 위해 챔버 압력 (chamber pressure), 스퍼터 강착 전류 (sputter deposition current), 전압 (voltage) 및 스퍼터링 지속 시간 (duration of sputtering) 과 같은 다양한 매개변수를 조정할 수 있습니다. 기판은 기판 재료에 따라 회전 (rotating) 또는 플랫 (flat) 홀더에 배치되어 증착 과정을 동시에 최대 6 개의 서로 다른 표면에서 수행 할 수 있습니다. 스퍼터 증착을 실시간으로 모니터링하기 위해, 이 장치에는 내장형 디스플레이 (display) 와 온도 컨트롤러 (temperature controller) 가 장착되어 있어, 필요한 경우 운영자가 조정할 수 있습니다. 또한 601 은 다른 시스템과 손쉽게 통합될 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 운영자가 기존 운영 라인에 구성 요소를 빠르고 원활하게 추가할 수 있습니다. 전반적으로, CVC 601 기계는 대형 기판에서 스퍼터링 프로세스에 이상적인 선택이며, 고품질의 균일 한 코팅을 보장합니다. 증착 매개변수 (deposition parameter) 를 다른 장비와 쉽게 통합할 수 있는 기능과 함께 자세히 제어하면이 도구는 모든 생산 라인 (production line) 에 추가됩니다.