판매용 중고 CVC 312415-27-T #9124390

CVC 312415-27-T 스퍼터링 장비는 기판 재료에 박막 증착을 위해 설계된 고급 기술입니다. 폐쇄 형 다이오드 스퍼터링 시스템으로, 2 개의 마그네트론 음극, 2 개의 평행 판 대상 및 4 개의 펌핑 포트로 구성되어 단일 음극 및 2 극 증착이 가능합니다. 그것 은 매우 다양 한 표준 "스퍼터링 '의 표적 을 갖추고 있는데, 이것 은 금속, 합금, 화합물 의 얇은" 필름' 의 증착 에 사용 될 수 있다. 312415-27-T는 두 개의 주요 챔버 인 Electro-Magneto Plasma (EMP) 챔버와 주 진공 챔버로 구성됩니다. "엠피 챔버 '에는" 마그네트론' 음극 이 들어 있어 진공 환경 에서 "플라즈마 '를 만들고 표적 물질 을 향해" 스퍼터링' 입자 를 가속 시킨다. 주 챔버에는 진공 펌프, 대상 및 기판 히터가 포함되어 있습니다. CVC 312415-27-T의 주요 특징 중 하나는 SCD (Single Cathode Deposition) 접근 방식으로, 음극 회전이 필요하지 않은 기판 재료에 얇은 층의 재료를 증착 할 수 있습니다. 기존의 2 극 증착과 비교할 때 박막의 균일성과 안정성이 향상됩니다. 이 장치에는 다양한 재료의 양극 증착을위한 멀티 포지션 양극성 스퍼터링 컨트롤러 (multi-position bipolar sputtering controller) 와 크고 복잡한 박막 용 멀티 타겟 스퍼터링 장치 (multi-target sputtering unit) 가 장착되어 있습니다. 312415-27-T 기계에는 단일 축 스퍼터 컨트롤러, 래스터 스캔 전극, 이온 및 열 보조 플라즈마 소스, 다중 구역 온도 컨트롤러 및 기본 압력 컨트롤러와 같은 다양한 최종 이펙터 및 검출기가 장착되어 있습니다.. 또한 Four-Point Probe Unit, 자기장을 측정하는 MGU (Magnet Gauge Unit) 및 플라즈마 필드를 모니터링하는 패러데이 케이지 (Faraday Cage) 와 같은 품질 제어를위한 진단 도구 세트가 장착되어 있습니다. CVC 312415-27-T 스퍼터링 도구는 고가의 박막 재료를 생산하기위한 강력하고 안정적인 도구입니다. 종합적인 고급 도구, 견고한 구성, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 광범위한 어플리케이션을 선택할 수 있으며, 이는 항공 우주, 자동차, 반도체 제조 등 다양한 산업에 걸쳐 있습니다.