판매용 중고 CVC 2800LL #135121

CVC 2800LL 스퍼터링 장비는 다양한 기판에서 고품질의 박막 (thin film) 을 생산하는 데 사용되는 고급 진공 증착 시스템입니다. 태양열 발전 산업의 핵심 구성 요소 인 박막 태양 광 전지 (Thin-film photovoltaic cell) 의 저가 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 기본 장치, 진공 펌프, 스퍼터링 챔버, 컨트롤러 등 여러 하위 시스템으로 구성되어 있습니다. 2800LL 의 기본 단위 는 질긴 "알루미늄 '합금 으로 만들어져 높은 수준 의 내구성 과 내식성 을 제공 한다. 여기에는 진공 펌프 (vacuum pump) 와 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 와 원하는 압력을 유지하고 프로세스 매개변수를 모니터링하는 디지털 컨트롤러가 들어 있습니다. CVC 2800LL은 최대 작동 압력이 1.8 x 10-6 Torr이며 2 "최대 16" 의 기판 크기를 지원할 수 있습니다. 이 장치에는 최적의 보기를 위해 프로세스 챔버 창 (process chamber window) 이 장착되어 있어 프로세스를 쉽게 검사할 수 있습니다. 진공 펌프는 분당 5 ~ 90000 회전의 속도 범위를 가진 2 단계 로터리 베인 펌프입니다. 펌프는 가스 처리 (off-gassing) 를 최소화하고 열 부하를 최소화하여 챔버에서 일관되게 깨끗한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 안전 장치 (Safety Machine) 가 장착되어 있어 오작동 시 전원을 끕니다. 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 자체는 가장 높은 증착 및 반복 가능성 정확도를 달성하도록 설계된 기계적, 전기적, 부드러운 진공 성분의 조합을 사용합니다. 최대 8 개의 목표를 보유할 수있는 2 단계 챔버이며, 다양한 목표 보유자와 샘플 홀더를 갖추고 있습니다. 대상은 DC 바이어스 (Bias) 전원 공급 장치에 의해 구동되며, 이를 통해 사용자는 기판 온도 및 증착률을 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 일관성과 정확성을 갖춘 박막을 생성할 수 있습니다. 2800LL은 태양 광 발전 시 대부분의 씬 필름 어플리케이션에 적합한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 사용하기 쉽고, 유지 관리가 가능하며, 경쟁력 있는 가격으로 탁월한 성능을 제공합니다. 에셋은 또한 듀얼 스퍼터 챔버 (Sputter Chamber), 디지털 프로세스 컨트롤러 (Digital Process Controller) 및 프로세스 창 (Process Window) 을 포함한 고급 기능을 제공하여 증착의 품질과 효율성을 극대화합니다.