판매용 중고 CVC 1400 #293750923

제조사
CVC
모델
1400
ID: 293750923
Chamber.
CVC 1400 은 최첨단 스퍼터링 장비로, 반도체, 광학, 전자 제품 등 다양한 업계에서 박막 증착을 위한 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 증착 공정을 정확하게 제어하도록 설계되어, 두께가 균일한 고품질 박막 (Thin Film) 과 접착 특성이 우수합니다. 1400 개의 스퍼터링 유닛 (Sputtering Unit) 에는 불순물과 결함이 최소화 된 기판에 재료를 효율적으로 증착 할 수있는 고 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이 약실은 스퍼터링 (sputtering) 프로세스에 필요한 고온과 압력을 견딜 수있는 고품질 재료를 사용하여 구성됩니다. 또한, 챔버 (chamber) 에는 증착 중 기판의 온도를 제어하기 위해 고급 난방 및 냉각 시스템이 장착되어 있으며, 균일 한 필름 성장과 최적의 성능을 보장합니다. CVC 1400 시스템의 주요 기능 중 하나는 다용도 프로세스 제어 기능입니다. 이 도구에는 운영자가 증착률, 목표 전력, 가스 유량, 기판 온도 등 다양한 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있도록 하는 고급 소프트웨어 (advanced software) 가 장착되어 있습니다. 이러한 제어 수준 (level of control) 을 통해 증착 과정을 정확하게 튜닝하여 각 응용 프로그램의 특정 요구 사항을 충족시키고, 맞춤식 속성을 갖는 고도로 사용자 정의 된 박막 (thin film) 을 만들 수 있습니다. 1400 개의 스퍼터링 자산은 DC 마그네트론 스퍼터링, RF 마그네트론 스퍼터링 및 펄스 DC 스퍼터링을 포함한 다양한 증착 기술을 제공합니다. 각 기술에는 고유한 장점이 있으며, 각기 다른 재료와 응용 프로그램에 적합합니다. 예를 들어, DC 마그네트론 스퍼터링은 접착 및 전도성이 높은 금속 박막을 증착시키는 데 이상적이며, RF 마그네트론 스퍼터링은 유전체 및 절연 물질에 적합합니다. CVC 1400 모델에는 증착 (deposition) 기능 외에도 고급 모니터링 (monitor) 및 진단 (diagnostic) 툴이 장착되어 증착된 박막 (thin film) 의 품질과 일관성을 보장합니다. 이 장비에는 쿼츠 크리스탈 모니터 (quartz crystal monitor) 및 분광형 타원계 (spectroscopic ellipsometer) 와 같은 현장 도량형 도구가 포함되어 있습니다. 이 실시간 피드백을 통해 연산자는 증착 프로세스 (deposition process) 를 즉시 조정하여 원하는 필름 특성을 달성 할 수 있습니다. 또한 1400 개의 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 높은 처리량과 생산성을 제공하도록 설계되어 연구 환경과 생산 환경 모두에 적합합니다. 이 장치는 대규모 증착 영역, 다중 목표 위치 (Multiple Target Position), 빠른 펌프 다운 타임 (Pump Down Time) 을 갖추고 있어 신속한 처리 시간과 자원을 효율적으로 활용할 수 있습니다. 또한, 기계는 기판 청소 (substrate cleaning) 및 전처리 장치 (pre-treatment unit) 와 같은 다른 프로세스 모듈과 쉽게 통합되어 박막 증착을위한 완벽한 작업 흐름을 가능하게합니다. 전반적으로, CVC 1400 스퍼터링 도구는 고급 프로세스 제어 기능, 다용도 증착 기술, 높은 처리량 성능을 갖춘 박막 증착을 위한 최첨단 플랫폼입니다. 반도체, 광학, 전자 업계의 경우, 이 자산은 각 어플리케이션의 구체적인 요구에 맞게 맞춤형으로 구성된 고품질 박막 (Thin Film) 을 생산할 수 있는 탁월한 정밀도, 안정성, 효율성을 제공합니다.
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