판매용 중고 CPA S-Gun #293811816
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ID: 293811816
웨이퍼 크기: 3"
Sputter-Gun System (3 S-Guns), 3"
Used for TiW, W5Si3, Au, Argon, Nitrogen
(3) Direct Current (DC) magnetrons
Target holders.
CPA S-Gun 또는 Cathodic Arc PVD (Physical Vapor Deposition) 스퍼터링 장비는 고급 박막 증착 프로세스에 사용되는 최첨단 기술입니다. 이 정교한 시스템은 음극 아크 증발 (cathodic arc evaporation) 과 스퍼터링 (sputtering) 기술을 결합하여 다양한 기판에 고품질의 박막을 만듭니다. S-Gun 유닛은 필름 특성, 균일성, 접착에 대한 정확한 제어가 필요한 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. CPA S-Gun 기계의 중심에는 음극 아크 증발 공정 (cathodic arc evaporation process) 이 있는데, 여기에는 고전압 전기 펄스 적용을 통한 대상 재료의 기화가 포함됩니다. 전기 펄스 (electric pulse) 는 대상 물질을 폭격 한 플라즈마 아크 (plasma arc) 를 만들어 원자를 분출하고 기판에 침전시켜 얇은 필름을 형성한다. 이 과정 을 통해 금속, 합금, 화합물 을 포함 하여, 순도 가 높고 접착 성질 이 뛰어난, 다양 한 물질 을 증착 할 수 있습니다. 또한, S-Gun 도구는 스퍼터링 기능을 특징으로하며, 여기에는 에너지성 이온이있는 대상 물질의 폭격으로 원자를 분리하여 기판에 증착시킵니다. 이 과정은 캐소딕 아크 증발과 함께 사용되어 필름 균일성, 밀도, 스트레스 제어를 향상 할 수 있습니다. 이 두 가지 기술을 결합함으로써 CPA S-Gun (CPA S-Gun) 자산은 향상된 유연성을 제공하여 필름 두께와 조성을 정확하게 제어 할 수있는 복잡한 다층 코팅을 증착할 수 있습니다. S-Gun 모델의 주요 특징 중 하나는 고급 플라즈마 제어 기술 (Plasma Control Technology) 입니다. 이 장비에는 정교한 플라즈마 진단 (Plasma Diagnostics) 및 모니터링 도구 (Monitoring Tools) 가 장착되어 있어 운영자가 프로세스 매개변수를 실시간으로 최적화하여 필름 품질과 성능을 향상시킵니다. 또한, 시스템의 지능형 소프트웨어 알고리즘을 통해 프로세스 제어를 자동화하고, 사람의 오류를 최소화하고, 생산성을 높일 수 있습니다. CPA S-Gun 장치는 다용성과 확장성을 위해 설계되었으며, 항공 우주, 자동차, 전자 제품, 광학과 같은 업계의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 모듈식 설계를 통해 기판 난방, 이온 빔 지원 (ion beam assistance), 현장 모니터링 (in-situ monitoring) 과 같은 추가 프로세스 모듈을 쉽게 통합하여 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. S-Gun 머신은 보호 코팅, 마모 방지 필름 또는 광학 코팅 (optical coating) 을 증착하든 비교할 수없는 제어 및 정밀도를 제공합니다. 결론적으로, CPA S-Gun은 음극 아크 증발 및 스퍼터링 기술을 결합하여 고성능 박막 증착 기능을 제공하는 최첨단 스퍼터링 도구를 나타냅니다. 고급 플라즈마 제어, 다용도 디자인 및 확장성을 갖춘 S-Gun (S-Gun) 자산은 뛰어난 영화 품질, 균일성 및 접착력을 달성하려는 산업을위한 필수 도구입니다. CPA S-Gun 모델은 캐소딕 아크 PVD (Cathodic Arc PVD) 기술의 힘을 활용함으로써 특성과 성능 특성이 향상된 고품질 박막을 생산할 수 있습니다.
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