판매용 중고 CPA / KURDEX XM2000 #9096616
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ID: 9096616
Sputtering system
Cassette to cassette
Throughput: (40) Wafers per run
PLC/PC Control
Chambers
Indexers
Turbo pump and cryopump
Gauges
Air manifold
Motors
PLC
Touchscreen.
CPA/KURDEX XM2000은 얇은 금속막을 기판에 입금하는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. "스퍼터링 '과정 은 여러 개 의 표적 을 진공실 에 배치 한 다음" 에너지' 원 (예: 전기 혹은 자력) 을 사용 하여 "이온 '이 표적 물질 을 폭격 하여 원자 를 파괴 하고 기판 에 증착 시킨다. CPA XM2000은 CFM (Advanced Cylindrical Field Magnetron) 구성을 통합 한 다목적 산업 등급 시스템입니다. 이렇게 하면 원하는 코팅 레이어를 생성하기 위해 장치가 여러 대상을 동시에, 그리고 효율적으로 스퍼터 (sputter) 할 수 있습니다. 다중 목표 구성 (multiple target configuration) 은 단일 대상 스퍼터링 시스템에서 발생할 수있는 산화를 줄이는 데 도움이됩니다. KURDEX XM2000 은 총 3 개의 타겟 홀더 어셈블리로, 높이를 독립적으로 조정할 수 있으며, 크기가 다른 여러 대상을 지원할 수 있으므로 스퍼터링 프로세스를 최대한으로 사용자 정의할 수 있습니다. 높이 최적화 된 웨이퍼 레벨 챔버 모터 (chamber motor), 자동 리프트 가스 입력 (auto-lift gas inlet) 및 자동 리프트 기판 히터 (auto-lift 기판 히터) 와 같은 고급 제어 기능의 배열을 통해 증착 공정에서 최고 수준의 정밀도를 보장합니다. XM2000 기계에는 고정밀 질량 흐름 컨트롤러가 포함 된 고급 프로세스 모니터링 툴이 장착되어 있습니다. 디지털 제어판 (Digital Control Panel) 은 탐색하기 쉬운 설정 및 판독값을 제공하며, 스퍼터링 프로세스를 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 자산에는 자동 드라이브 유지 보수 (Automatic Drive Maintenance) 및 환경 모니터링 루틴 (Environment Monitoring Routine) 이 제공되어 적절한 작동과 최고 성능을 보장 전반적으로 CPA/KURDEX XM2000은 효율적이고 다재다능한 스퍼터링 모델입니다. 그 인상적 인 특징 들 과 고급적 인 설계 를 통하여, 기판 에 얇은 "메탈 '층 을 신속 하고 신빙성 있게 배치 할 수 있다. 견고한 구성, 고정밀 프로세스 모니터링, 맞춤형 설정을 통해 CPA XM2000은 업계 응용프로그램에 적합합니다.
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