판매용 중고 CPA / KURDEX V2000 #9159037

CPA/KURDEX V2000 스퍼터링 장비는 박막을 다양한 기판에 배치하는 데 사용되는 고급 스퍼터링 도구입니다. 이 강력한 도구는 3상 AC 전원 공급 장치로 구동됩니다. 작업 압력이 1E-5 Torr 미만인 독점적 인 고진공, 멀티 토르 스퍼터링 진공실을 사용하여 최대 3 개의 개별 소스를 동시에 다른 필름을 스퍼터링 할 수 있습니다. CPA V2000 은 증발 소스 (evaporative source) 와 별도의 스퍼터링 소스 (sputtering source) 를 제공하며, 둘 다 기판 을 옮기지 않고 동일한 챔버 에서 기판 에 필름 을 증착 할 수 있다. 증발 원은 세라믹 필라멘트를 사용하여 정확한 두께, 재료 구성 및 굴절 지수를 가진 단일 또는 다중 층 필름을 일반적으로 1,200 ~ 5,200 nm 사이에 배치합니다. 스퍼터링 소스는 4 개의 토로이드 자석 (toroidal magnet) 배열과 최대 4 개의 스퍼터 소스를 구동 할 수있는 원통형 양극으로 구성됩니다. 이 스퍼터 소스는 0 ~ 100% 의 선형 전력 제어를 통해 스퍼터링 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한 KURDEX V2000 (KURDEX V2000) 은 다양한 스퍼터 건/재료 조합을 제공하여 우수한 특성을 가진 재료를 생산할 수 있습니다. 또한 스퍼터 시스템에는 하중 잠금 (load-lock) 기술이 적용되어 여러 챔버 사이를 전환하여 높은 진공 환경을 유지할 수 있습니다. 이것 은 "챔버 '의 압력 을 가능 한 한 가장 일관성 있는 수준 으로 조절 하는 데 도움 이 되며, 퇴적 된" 필름' 의 오염 을 방지 하는 데 도움 이 된다. 또한 V2000에는 민감성 필름 증착 공정을 실행할 때 정밀한 온도 조절이 가능한 실내온도 제어 장치 (in-chamber temperature control unit) 가 장착되어 있습니다. CPA/KURDEX V2000은 강력한 정밀 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 으로, 뛰어난 속성과 뛰어난 정밀도를 가진 다양한 필름을 제작할 수 있습니다. 정교한 디자인, 강력한 구성 요소, 혁신적인 기술로 인해 CPA V2000은 다양한 어플리케이션에 적합한 고품질 박막 (Thin Film) 을 생산할 수 있는 최적의 선택입니다.