판매용 중고 CPA / KURDEX V2000 #9059168

CPA/KURDEX V2000은 재료 증착 응용에 이상적인 매우 높은 진공 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 유전체, 금속, 굴절률 층 의 배열 을 기판 에 증착 시키도록 설계 되었으며, 광학" 필터', 태양 전지 및 기타 특수 장치 의 생산 에 흔히 사용 된다. CPA V2000에는 최대 100mm 직경의 기질을 수용 할 수있는 2 개의 큰 진공 스퍼터링 벨로 구성된 클래스 선행 챔버 기하학 (class leading chamber geometry) 이 있습니다. 이 장치에는 전용 진공 및 스퍼터링 준비 챔버 (Sputtering Preparation Chamber), 조절 가능한 질량 유속 모듈 (모두 소형 발자국) 이 있습니다. 챔버 (chamber) 는 하전 입자의 축적에 강하고, 백 스트리밍을 줄이며, 독특한 조절 가능한 자석 단계를 갖추고 있으며, 박막 재료를 정확하게 증착 할 수 있습니다. 소스 재료는 메인 챔버 (main chamber) 에 적재되며, 빠른 방출 전자 빔 용접 밀봉으로 안전하게 밀봉됩니다. 이 기계에는 3 개의 조정 가능한 세라믹 대상 홀더가 포함되어 있으므로 다양한 타겟 구성을 쉽게 조정할 수 있습니다. 질량 흐름 속도 제어 모듈은 정확하게 조절 된 증착을 가능하게하며, 기판에 균일 한 층을 만듭니다. KURDEX V2000은 또한 자동 셔터 도구 (automated shutter tool) 를 갖추고 있으며, 스퍼터링 중에 생성 된 파편이나 입자로부터 기질을 보호하고, 기판 표면이 오염되지 않도록 보장합니다. 환경 친화적인 운영을 통해 처리 중에 자산을 제거할 필요가 없습니다. V2000 은 유연한 모델로서 프로세스 사용자 정의, 다중 레시피 지원 등을 지원합니다. 이 장비는 또한 정확한 측정 기능과 디지털 또는 전원 옵티컬 이미징 시스템 (Optical Imaging System) 을 통해 프로세스 내 이미징 및 모니터링을 지원합니다. CPA/KURDEX V2000은 강력하고 안정적인 작동을 제공하며 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 시스템은 작동과 유지 관리가 간편하며, 사용자 친화적인 인터페이스로 작동이 간편하고 직관적입니다. 컴팩트한 크기, 효율적인 설계, 안정적인 운영 덕분에 CPA V2000은 스퍼터링 어플리케이션에 적합합니다.