판매용 중고 CPA / KURDEX MRS-3 #9226503

CPA/KURDEX MRS-3 스퍼터링 장비는 다양한 산업 응용을위한 고성능, 높은 신뢰성 바이어스 스퍼터링 시스템입니다. 이 장치 는 "스퍼터링 '용도 에 사용 하는 데 적합 한 여러 가지 재료 로" 코우팅' 을 개발 하고 수정 하는 데 사용 된다. 증착률 최적화, 프로세스 처리량 향상, 기판 손상 감소 등을 위해 설계되었습니다. CPA MRS-3은 3 개의 세라믹 목표 보유자를 수용 할 수있는 3 챔버 기계입니다. 스퍼터 프로세스에는 클러스터, 정전기 척 (electrostatic chuck), 자기 감수기 (magnetic susceptor) 등 다양한 음극 구성을 사용할 수 있습니다. 커덱스 MRS-3 (KURDEX MRS-3) 의 크고 효과적인 스퍼터링 영역은 퇴적 된 필름의 품질이 높아질 것입니다. 이 기계는 또한 증착 프로세스의 각 단계에 대한 프로세스 제어 데이터 (process control data) 를 제공하기 위해 다양한 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 대상 홀더에는 조정 가능한 서스펜션 (suspension) 메커니즘이 있어 사용자가 대상을 정확하게 배치할 수 있습니다. 이것은 목표 증착의 최적화 된 균일성을 허용합니다. "가스 '를 불활성" 가스' 를 사용 하여 내부 "챔버 '를 대피 시키는 것 은 증착 과정 중 의 압력 을 조절 하는 데 도움 이 되며, 응축성 증기 의 축적 을 방지 한다. MRS-3 (MRS-3) 에는 다양한 자동 시스템이 장착되어 있어 사용자가 프로세스를 정확하고 정확하게 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 자동 기판 로드 및 언로딩을위한 마이크로 컨트롤러 (micro-controller), 컴퓨터 제어 프로세스 컨트롤러 (computer controlled process controller) 및 증착율을 조절하는 폐쇄 루프 (closed-loop) 도구가 있습니다. 바이어스 스퍼터링 (bias sputtering) 프로세스를 통해 사용자는 다양한 기판에서 고품질의 균일 한 필름을 얻을 수 있습니다. 에셋은 일반적으로 스퍼터링과 관련된 기판 손상을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 안정적이고 높은 스퍼터 레이트 (sputter rate) 를 유지하여 프로세스 처리량을 가장 높일 수 있습니다. CPA/KURDEX MRS-3은 효과적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 모델로, 다양한 코팅 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 이 장비 는 여러 가지 재료 와 "기판 '과 매우 일치 한 결과 를 제공 할 수 있으며, 이것 은" 스퍼터' 증착 을 위한 믿을 만하고 경제적 인 선택 이다.