판매용 중고 CPA / KURDEX 9940 #9212048

CPA/KURDEX 9940은 다양한 표면에 박막을 만드는 데 사용되는 첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 광학, 전자, 마이크로 전자 장치의 제작을위한 공정 연구 및 개발에 이상적입니다. 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 이라는 기술을 사용하는데, 마그네트론 (magnetron) 을 사용하여 소스 물질로부터 이온을 생성 한 다음 고압 가스에 의해 가속되어 기판에 증착을 생성합니다. 이 방법은 일관된 결과를 가진 고급 박막을 생산하는 데 사용됩니다. CPA 9940 스퍼터링 장치는 진공 챔버, 폐쇄 루프 냉각기, 소스 재료 피더, 기판 홀더 및 전원 공급 장치로 구성됩니다. 표적 재료, 전원 공급 장치 및 마그네트론을위한 스퍼터링 건이 장착되어 있습니다. 소스 재료 는 "피더 '에 가열 되어" 가스' 에 의해 속도 가 올라가는 "이온 '을 형성 하여 기판" 홀더' 에 재료 증착 을 만든다. 그런 다음 기판 홀더를 조작하여 필름의 도핑, 그레인 구조, 레이어 두께를 조정합니다. KURDEX 9940 도구의 최대 작동 압력은 10-4 mbar이며 터보 분자 펌프와 다이어프램 펌프로 유지됩니다. 이 방은 철저하고 효율적인 스퍼터 프로세스 (sputter process) 를 보장하기 위해 공정 전반에 걸쳐 높은 수준의 진공 상태로 유지됩니다. 클로즈드 루프 (closed-loop) 냉각 자산은 기판의 열 손상을 최소화하기 위해 온도를 낮은 수준으로 효율적으로 유지합니다. 맥박 변조 소스 전원 공급 장치 (pulse-modulated source power supplies) 와 마그네트론 (magnetron) 은 기판의 모든 부분에 일관된 증착률을 제공합니다. 9940의 기본 제어 키는 풋 스위치와 모델을 관리할 수있는 5 개의 기능 키입니다. 장비는 매우 자동화되어 있으며 운영자의 개입을 최소화해야 합니다. 원할 경우 기판 보유자, 증착 시간, 표적 재료, 가스 농도 등의 위치를 모두 변경할 수 있습니다. 전반적으로, CPA/KURDEX 9940은 신뢰성이 높고, 정확한 제어 및 균일 한 특성을 가진 일관되게 고품질의 박막 (thin film) 을 제공하는 고급 자동 스퍼터링 시스템입니다. 내구성 있는 구성 요소, 안정적인 운영 및 자동화된 기능을 모두 통해 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 이것은 높은 증착률과 함께, 정확한 제어 및 균일 한 박막 특성이 필요한 응용 분야에 이상적입니다.