판매용 중고 CPA / KURDEX 9900 #9262873
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ID: 9262873
PVD Sputtering system
Cryo compressor
Vacuum pump
Vacuum gauge
(2) Targets
BOC EDWARDS Vacuum pump
ADVANCED ENERGY MDX DC Power supply
RF Generator
(2) Loadlocks
Slot trays
Silicon wafer, 4"-8"
MEMS
Gallium Arsenide (GaAs)
Glass wafers / Solar cell / Flat panel
Panel missing.
CPA/KURDEX 9900 스퍼터링 장비는 고급 박막 증착 기술을 위해 설계된 고성능, 최첨단 스퍼터링 시스템입니다. 이 고급 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 다양한 기능과 기능을 제공하여 사용자가 탁월한 스퍼터링 결과를 얻을 수 있습니다. CPA 9900 스퍼터링 머신은 필름 스퍼터링을위한 최대 4 개의 마그네트론 스퍼터링 소스와 4 개의 rf/dc (직류) 평면 소스를 제공 할 수 있습니다. 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 를 매우 잘 제어하여 다양한 두께를 달성 할 수 있습니다. 이 도구는 두 비행기 모두에서 뛰어난 균일성과 제어성을 제공합니다. KURDEX 9900에는 2 개의 마그네트론 소스와 4 개의 rf/dc 평면 소스 외에도 2 개의 터보 분자 펌프가 장착되어 있으며, 다양한 압력 설정 포인트가 가능합니다. 이는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스에서 높은 처리량과 뛰어난 제어 능력을 모두 제공합니다. 9900 스퍼터링 (Sputtering) 에셋에는 고급 옵틱도 장착되어 있어 필름 두께와 구성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 고급 비전 모델 (advanced vision model) 과 반사 빔 (reflected beam) 장치는 표면 지형, 평면 화 및 균질성에 대한 자세한 분석을 제공합니다. 이것은 자동 레시피 기능과 결합하여 CPA/KURDEX 9900을 가장 복잡한 박막 증착 프로젝트조차도 이상적인 선택으로 만듭니다. CPA 9900 스퍼터링 (Sputtering) 장비에는 매우 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함되어 있어 손쉽게 터치스크린 (Touch-Screen) 인터페이스를 사용할 수 있으므로 클릭이 적은 상태에서 스퍼터링 매개변수를 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 이온 에칭, 에지 격리, 멀티 레이어 링 및 필름 온 필름 증착과 같은 여러 가지 고급 프로세스를 지원합니다. 이 "스퍼터링 '장치 의 강력 한" 가스' 조절 장치 는 "가스 '흐름 을 잘 조절 하여 이상적 인" 스퍼터링' 성능 을 보장 해 준다. 전체적으로 KURDEX 9900 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 강력하고 신뢰할 수있는 머신으로, 사용자에게 최적의 스퍼터링 성능, 정확성 및 균일성을 제공하여 복잡한 박막 증착 공정으로 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다.
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