판매용 중고 CPA / KURDEX 9900 #9115251
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판매
ID: 9115251
Sputtering system
DRESSLER Cesar 1kW cryo pump
(2) Torr 8
Torr 10
Process parameter control ranges:
Sputtering pressure: 5 - 30 Microns
Conveyor speed: 0.1 - 80 cm.min.
D.C Deposition power level: 100 - 9000 watts
R.F Deposition power level: 50 - 3000 watts
R.F Sputter clean power level: 15 - 1000 watts
Substrate heating: Ambient to 350°C
Uniformity performance:
Etch: ±10%
Deposition:
R.F Magnetron ±10%
D.C Magnetron ±5%
Vacuum performance:
Ultimate pressure
2 x 10(-7) in 16 hrs
5 x 10(-7) in 30 minutes
Rate of rise: 1 x 10(-4) 6 minutes
Vacuum tight: Less than 5 x 10(-10) standard atmosphere cc helium/second
Utility requirements:
4 Wires delta or 5 wires wye
Water temperature: 50 - 75°F (10-24°C)
Air: 70 to 100 PSIG (6 to 8 ATU) filtered, 1 CFM
Sputtering gas: Typically 5 PSIG (1.3 ATU) argon
Power: 208 V, 100 A. 3 phase, 50/60 Hz.
CPA/KURDEX 9900 스퍼터링 장비는 박막 증착에 사용되는 최첨단 첨단 장비입니다. 스퍼터 코팅, 화학 증기 증착 또는 전기 도금과 같은 특수 응용을 위해 설계된 고급, 멀티 타겟, 멀티 건, 턴키 시스템입니다. CPA 9900은 연구 및 생산 응용 프로그램 모두에 적합합니다. 이 장치는 금속, 산화물, 텅스텐 실리사이드, 질화물 등 다양한 물질의 증착을 허용하는 여러 표적을 포함합니다. 총 구성은 최대 6 개의 자기 부양 또는 8 개의 석영 결정 센서를 지원합니다. KURDEX 9900 머신은 디지털 전력 규제 및 피드백 (feedback) 제어를 통해 뛰어난 목표 균일성, 높은 처리량 및 낮은 기판 고장을 가능하게 합니다. 자동 프로세스 제어는 기판 바이어스, 재료 전달, 공정 대기 및 진공 성능을 위해 최대 256 포인트의 프로그래밍 된 크기 램프/타이밍을 포함합니다. 공정 압력 범위는 0.64에서 10-8 Torr입니다. 향상된 핵 생성 및 접착을위한 기판 가열은 수동으로 작동하거나 최대 800 C의 온도로 프로그래밍 될 수 있습니다. 9900은 이더넷, RS-232, GPIB 및 IEEE-488 인터페이스를 포함한 고급 인터페이스 기능을 제공합니다. 프로세스 제어, 데이터 로깅, 레시피 스토리지, 원격 작업을 위한 PC 인터페이스를 통해 액세스할 수 있습니다. 또한이 도구는 산소 제거를위한 활성 퍼지 및 재순환 매니 폴드를 제공합니다. CPA/KURDEX 9900 스퍼터링 자산은 다용도, 신뢰성, 사용자 친화적 모델로 뛰어난 박막 코팅 솔루션을 제공합니다. 올인원 (All-in-one) 플랫폼은 사용 편의성, 안정성 및 처리량을 고려하여 설계 및 설계되었습니다. 최소한의 운영자 (operator) 교육이 필요하며 다양한 재료를 다양한 기판에 코팅하는 기능을 제공합니다. 스퍼터링 장비는 다양한 산업, 의료, 전자 및 방어 용도에 이상적입니다.
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