판매용 중고 CPA / KURDEX 9900 #9035090

CPA/KURDEX 9900은 박막 증착, 확산 장벽 코팅, 보호 코팅 및 광학 코팅과 같은 응용 분야를 위해 설계된 고도로 다재다능한 PVD (physical vapor deposition) 스퍼터링 장비입니다. 최대 4 개의 스퍼터 대상 (sputter target), 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 또는 평면 소스를 사용하여 다양한 기판을 처리 할 수 있으므로 여러 표면에서 동시에 스퍼터링이 가능합니다. 이 시스템에는 샘플링 (sampling) 및 증착 매개변수를 정확하게 제어하기 위한 비접촉 (non-contact), 완전 컴퓨터 화 (fully-computerized) 샘플 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 모든 프로세스 매개 변수의 모니터링 및 제어를 위한 PLC (Programmable Logic Controller) 가 포함되어 있으며, 고해상도 쿼츠 컨트롤러를 추가하여 정밀 측정 및 정밀 스퍼터링이 가능합니다. CPA 9900 은 반도체와 강자성 코팅 (ferromagnetic coating) 업계의 광범위한 제어 및 데이터 로깅 요구 사항에 대해 완벽하게 자동화된 솔루션을 제공합니다. MATLAB, AutoCAD 및 LabView를 포함한 많은 소프트웨어 패키지와 호환됩니다. 이 장치는 스퍼터링에 UHV 및 고 진공 모드를 모두 사용하며, 고 에너지, 저에너지 및 비활성 가스 증착과 같은 여러 소스를 사용할 수 있습니다. KURDEX 9900은 63mm 원형 스퍼터링 목표를 사용하여 표면 균일 성과 필름 품질을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 기계는 지속적인 스퍼터 깊이 조정 기능으로 인해 균일 한 스퍼터 대상 표면을 달성합니다. 기계에는 스퍼터 속도 (sputter rate) 를 설정하여 필름 두께를 설정하는 것까지 모든 프로세스 매개변수를 용이하게 하는 PLC가 있습니다. 이 기계는 사용하기 쉽고, 수동으로 또는 자동 조정 소프트웨어 (옵션) 로 작동할 수 있습니다. 자동 튜닝 소프트웨어를 사용하면 보다 정확하고 지속적인 스퍼터 속도 조정이 가능하며, 산화 방지 가스의 자동 전달 (automatic delivery) 이 가능합니다. 또한, 이 도구는 클리닝 및 증착 프로세스의 각 개별 단계의 데이터를 기록할 수 있습니다. 9900 (9900) 은 다양한 구성으로 매우 균일하고 결함이 없는 코트를 만드는 효율적인 툴로, 제품의 장기적인 성능을 향상시킬 수 있습니다. CPA/KURDEX 9900 스퍼터링 자산은 박막 증착을위한 신뢰할 수 있고, 정확하며, 강력한 도구입니다.