판매용 중고 CPA / KURDEX 9900-1 #9212051

CPA/KURDEX 9900-1 장비는 다양한 재료를 증착하도록 설계된 이중 총 스퍼터링 시스템입니다. 전도성 및 절연 필름, 박막, 탄소 필름, 세라믹 필름, 산화물 및 질화물, 금속 및 합금을 정기적으로 퇴적 할 수 있습니다. 수동 또는 자동 피트-페달 제어 작동을 위해 장치를 구성할 수 있습니다. CPA 9900-1 기계는 높은 전력, 2 개의 총 스퍼터링 소스를 제공하며, 입증되고 신뢰할 수있는 RF (무선 주파수) 거트 소스를 사용하여 일관되고 제어 된 증착률과 균일 한 필름 두께를 제공합니다. DC 스퍼터 (sputter) 모드와 반응성 스퍼터-에칭 (reactive sputter-etching) 모드 모두에서 작동 할 수 있으며 펄스 모드가 있으며, 모두 스퍼터 레이트와 필름 컴포지션을 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다. 공구의 작동 압력은 고진공 (high vacuum) 에서 초고진공 (ultra-high vacuum) 수준까지 다양하며 단일 자산에 최대 10 개의 타겟과 10 개의 소스를 사용할 수 있습니다. 이 모델에는 표준 쿼츠 크리스탈 모니터 (quartz crystal monitor) 와 광학 분광계 (optical spectrometer) 가 포함되어 있어 필름의 두께와 구성을 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 자기 및 운동 스퍼터링 (magnetic and kinetic sputtering) 을 제공하며, 목표 회전 속도와 기울기 각도가 다양하여 균일성과 커버리지가 향상되었습니다. 또한 최대 10 인치 웨이퍼가 가능한 카세트 형 보트가 포함되어 있으며, 생산성 향상을 위해 테이블 탑 Vacuum Transfer 로봇이 있습니다. KURDEX 9900-1에는 고해상도 그래픽 디스플레이를 통해 증착율 (deposition rate) 및 기타 프로세스 매개변수 모니터링을 위한 고급 데이터 로깅 및 제어 기능이 포함되어 있습니다. 또한 자동 시작 기능을 통해 개선되고 개선된 워크플로우를 제공합니다. 9900-1 스퍼터링 (Sputtering) 장비는 직관적이고 사용자 친화적인 장비로, 사용자가 시스템 성능을 실시간으로 조정하고 모니터링할 수 있게 해 주는 데이터 획득 기능의 이점을 제공합니다. 전반적으로, CPA 9900-1은 안정적이고, 효율적이며, 사용자 친화적 인 스퍼터링 유닛으로, 광범위한 재료를 일관성 있고, 정확하며, 세밀하게 조정할 수 있도록 설계되었습니다.