판매용 중고 CPA / KURDEX 9900-1 #9173356
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9173356
Horizontal in-line sputtering system
Entry / Exit load lock:
CPA Chamber
CPA Load lock valve
Load lock chamber 26"
Single pallet operation
12” x 24” Sputter zone
(1) Al Pallet, 15.5” x 25” x .25”
MKS 924 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
Pallet sensors
Process chamber:
CTI CT-8 Cryo pump
VAT Hivac valve
MKS Throttling valve
CTI 8500 Compressor
MKS 972 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
(2) Gas system with VCR gas lines
(2) NUPRO Isolation valves
(2) MKS MFCs for Ar 200 sccm , O2 50 sccm
MKS Variable throttle value
MKS 390 Baratron gauge
Chain drive transport system
AE Pinnacle+, 5 kW DC power supply
With sync cable
(4) CPA Process chambers:
(6) CPA 4.75” x 15” DC Magnetron assemblies
(6) Targets shielding
(1) CPA Process chamber
Oven run
Control system:
Opto-22 PLC
Monitor-simple PLC
Manual and auto control modes
Recipe control
(2) Stepper motors
I/O Wiring
SMC Soleniod block
UL Approved power box with EMO
CPA Optical pallet sensing system
With controller and sensors
RGA:
LEYBOLD Transpector
Installed with isolation valve
Dry pump.
CPA/KURDEX 9900-1 스퍼터링 장비는 박막 증착 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 마그네트론 기반 시스템입니다. 정밀도가 높은 멀티 타겟 (multi-target) 유닛으로, 다양한 재료로 스퍼터 코팅에 적합합니다. CPA 9900-1의 최대 증착율은 0.3 Å/s, 목표-샘플 거리 범위는 3-10cm, 최대 기판 크기는 9 인치입니다. 또한 긍정적 인 목표와 부정적인 목표를 모두 스퍼터링 할 수 있습니다. 이 기계는 자동화 된 Argon-ion 소스로 구동되며 특수 UHV (Ultra-High Vacuum) 트리플 타겟 마그네트론 스퍼터링 건이 장착되어 있습니다. KURDEX 9900-1은 손쉽게 작동할 수 있는 터치스크린 디스플레이 (touch-screen display for operation), 안전성을 위한 완전 밀폐형 설계, 대상 모니터링을 위한 LED 디스플레이 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 PLC (Programmable Logic Controller) 가 장착되어 있어 자동화를 최적화하고 자산의 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 모델은 자동 생산 라인 (automated production line) 에 통합 될 수 있으므로 패턴 화 된 박막 (thin film) 에서 빠르고 효율적인 스퍼터 코팅이 가능합니다. 9900-1은 고출력, 특별히 설계된 플라즈마 발전기를 사용하여 최적의 스퍼터링 조건을 만듭니다. 이 장비의 스퍼터링 파라미터 (sputtering parameters) 는 매우 조절 가능하며 최적의 결과를 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 최대 공정 온도 범위는 0-1000-C이고 최대 전력 출력은 8kW입니다. 이 시스템에는 안전성과 안정성을 보장하기 위해 수냉식 실드가 추가로 장착되어 있습니다. CPA/KURDEX 9900-1은 고성능 박막 증착 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 그 뛰어난 정밀도와 속도는 다양한 재료로 빠르고 효율적으로 스퍼터 코팅 (sputter-coating) 에 적합합니다. 이 장치에는 오퍼레이터 (operator) 와 기판 (substrate) 을 모든 잠재적 간섭으로부터 보호하기 위해 여러 가지 안전 및 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. CPA 9900-1은 고정밀도, 고성능 스퍼터링 어플리케이션을 위한 액세스 가능하고 비용 효율적인 옵션입니다.
아직 리뷰가 없습니다