판매용 중고 CPA In Line #9128058
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ID: 9128058
Sputtering System
(1) load chamber
(1) unload chamber with 10 position pallet capacity in each chamber
(10+) pallets
(1) process chamber with two 4" view ports
(1) main vac valve
(3) 11.5 x 4" magnetron cathode assemblies.
Original control panel with CPA Ion gauge switch
CPA Valve sequencer
Granville phillips 303.
CPA 인 라인 (CPA In Line) 은 진공 상태에서 반응물 재료를 결합 할 수 있고 필요한 두께 코팅을 기판에 균일하게 증착 할 수있는 제어 환경을 만들기 위해 설계된 고급 스퍼터링 (sputtering) 장비입니다. 그것 은 전도성 "필름 '과 유전성" 필름' 을 모두 퇴적 시킬 수 있으며, 조그마 하거나 넓은 면적 의 "코우팅 '을 만들 수 있을 만큼 융통성 이 있다. 라인 (Line) 시스템에서는 엔클로저를 사용하여 장치의 두 가지 주요 컴포넌트 인 스퍼터 대상 (sputter target) 과 음극을 수용합니다. 스퍼터 대상 (sputter target) 은 고체 재료, 일반적으로 금속 물질이며, 음극은 전하를 기계에 공급하는 전극입니다. 비활성 "가스 '(전형적 으로" 아르곤') 가 인클로저 에 "펌프 '되고 압력 이 저하 되어 진공 환경 이 조성 된다. 공구는 인클로저의 전극에 DC 전압을 적용하여 스퍼터 대상 (Sputter Target) 쪽으로 간격을 가로 질러 하전 된 입자를 가속화합니다. 충돌시, 스퍼터 대상 재료 중 일부는 스퍼터 (sputter) 되고 충돌하여 기판을 코팅합니다. CPA 인 라인 (CPA In Line) 자산은 혁신적인 설계로 정확하고 균일한 두께의 코팅을 생산할 수 있습니다. "코우팅 '의 두께 는" 스퍼터' 표적 에 공급 되는 "에너지 '의 양, 기판 물질 의 조성, 비활성" 가스' 의 밀폐 된 압력 으로 정확 하게 제어 할 수 있다. 인클로저 (enclosure) 가 제공하는 최적화 된 환경과 외부 오염 부족으로 인해 코팅의 균일 성도 향상되었습니다. In Line 모델은 다재다능하며 장식 표면, 의료 장치, 광학 렌즈, 진공 디스플레이 패널 등 다양한 응용 분야에서 보호 코팅을 제공 할 수 있습니다. 또한 유연성을 통해 포장, 단열재, 전기 부품, 분석 및 연구 응용 프로그램을위한 필름을 생성 할 수 있습니다. 전반적으로 CPA 인 라인 (CPA In Line) 은 다양한 두께의 고품질 코팅을 생산할 수있는 고급 스퍼터링 장비입니다. 다재다능한 시스템은 다양한 코팅 (coating) 을 만들 수 있으며, 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다.
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