판매용 중고 COMTECH SST 5 #199747
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ID: 199747
Inline Sputtering System, 6"
14 1/2” x 18” Chamber
1 1/2" H x 14 3/4" with Loadlocks
(4) Slit valves
(2) Plasmatherm HFS-2500 RF power supplies
Comtech match boxes.
Varian VHS6 DP
Temescal rotary cathode and ERA 20 KW.
COMTECH SST 5는 기판에 다양한 재료의 박막을 만들 수있는 인기있는 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 자동차 산업 에서" 나노테크놀로지' 응용 분야 에 이르기 까지 여러 가지 산업 에서 사용 된다. 장치의 주요 구성 요소에는 고 진공 챔버, 전원 공급 장치 및 스퍼터 대상 음극이 포함됩니다. 진공실 안에서, 환경은 오염없이 매우 고품질의 필름 (film) 을 만들기위한 매우 낮은 수준의 압력으로 유지된다. 전원 공급 장치 (Power Supply) 는 스퍼터 대상 (Sputter Target) 에 고류 펄스를 직접 전달하여 표적의 재료를 기판 표면으로 기화시킵니다. 대상은 판의 정류기, 필라멘트, 커넥터 및 전극으로 구성됩니다. 정류기는 전기 전압을 필라멘트, 전극, 커넥터를 통해 보내지는 DC 전류로 변환하고 표적 (target) 과 기판 (substrate) 사이에 호를 생성합니다. 이 호는 기판의 재료를 분출합니다. 호의 강도는 스퍼터링 요구에 맞게 조정 될 수 있습니다. 음극은 회전 속도가 빠르며, 다양한 재료에서 고품질 코팅 (coating) 을 스퍼터링 할 수 있습니다. 이것은 회전 속도가 작업 챔버 (working chamber) 내에서 난류 (turbulence) 를 생성하고 이온과 기판 재료 사이의 충돌 횟수를 감소시킨다는 사실 때문에 달성됩니다. 이 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 에 사용되는 기판 및 대상 재료는 사용자의 특정 요구에 따라 달라집니다. 가능한 물질에는 산화물, 금속, 합금, 유기 물질 및 기질 표면에 밀접하게 접촉해야 할 다른 재료의 박막 (thin film) 이 포함될 수 있습니다. SST 5는 높은 진공 환경으로 인해 산화 가능성이 낮아 최대 3 나노 미터까지 박막을 증착 할 수 있습니다. 이것은 자동차 코팅, 나노 제조, 마이크로 제작 및 기타 다양한 박막 응용 프로그램과 같은 응용 분야에 매우 유용한 도구입니다. 전반적으로 COMTECH SST 5는 다양한 어플리케이션에 강력한 기능을 갖춘 매우 안정적인 스퍼터링 툴입니다. 뛰어난 필름 균일성을 갖춘 정밀 스퍼터링을 제공합니다. 특화된 디자인은 표면이 깨끗하고 오염이 없도록 보장합니다. 이 자산은 정기적인 재조정 (recalibration) 이 필요 없이 유지 관리가 용이하며, 많은 기업에게 인기있는 선택입니다.
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