판매용 중고 COMTECH Inline Sputtering System #199743

COMTECH 인라인 스퍼터링 장비 (Inline Sputtering Equipment) 는 평평한 기판에서 얇은 필름의 내부 증착을 위해 설계된 혁신적인 스퍼터링 기술입니다. 이 고급 시스템은 높은 균일 한 예금, 높은 예금 속도, 최소 유지 보수 (maintenance) 를 제공합니다. 이 장치는 두 가지 기본 구성 요소 (자체 포함 증착실 및 전원 공급 장치) 로 구성됩니다. 증착 챔버에는 코팅 할 기판, 가스/이온 소스 및 마그네트론-대상 어셈블리가 포함되어 있습니다. 전원은 목표물의 이온 (ion) 포격에 필요한 전압을 생성하는 데 사용됩니다. 이온 폭격으로 표적에서 중성 원자를 분리하는 데 사용됩니다. 그런 다음 이들 중성 원자는 기질에 침전된다. 기판은 다양한 크기와 모양이 될 수 있으며, 수직 (vertical) 이나 수평 (horizontly) 으로 장착 할 수 있습니다. 기판 의 가공 면적 은 단지 "챔버 '의 크기 와 모양 에 의해서만 제한 된다. 인라인 스퍼터링 머신 (Inline Sputtering Machine) 에는 다른 시스템에는 없는 여러 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 고급 고성능 마그네트론-대상 (magnetron-target) 어셈블리가 포함되며, 이 어셈블리에는 자동 역전 기능이 통합되어 대상을 자유롭게 구축할 수 있습니다. 공구에는 가스 인젝터 (gas injector) 도 포함되어 있으며, 공정을 실행할 때마다 스퍼터 가스 (sputter gas) 를 도입하고 대피 할 필요가 없습니다. 이 자산은 프로세스 매개 변수에 대한 자동 제어 기능도 기본 제공합니다. 사용자에게 친숙한 디스플레이 단자 (terminal) 를 통해 기판 온도, 대상-기판 간격, 스퍼터 가스 압력 등의 프로세스 변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. COMTECH Inline Sputtering Model은 다운타임 및 유지 보수 비용을 최소화하면서 안정성이 매우 뛰어납니다. 또한 원격 모니터링 장비 (옵션) 를 통해 운영 효율성과 안전성을 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 고성능 스퍼터링 (sputtering) 이 필요한 광범위한 프로세스에 성공적으로 사용되었습니다. 이러한 프로세스에는 광학 코팅, 칩 포장, 박막 트랜지스터 및 다양한 전자 부품 제조가 포함됩니다. 인라인 스퍼터링 유닛 (Inline Sputtering Unit) 은 평평한 기판에서 박막 증착에 이상적인 비용 효율적이고, 안정적이며, 고급 기술입니다. 고품질 예금, 최소 가동 중지 시간 및 유지 보수 서비스를 제공합니다. 이 "필름 '은 안전 하고 효율적 인 방법 으로 여러 가지 기판 에 신속 하고 정확 하게" 필름' 을 설비 할 수 있다.