판매용 중고 CASON TCB 10 #155369

CASON TCB 10 장비는 다양한 재료를 코팅하도록 설계된 고성능 DC 스퍼터링 시스템입니다. 가변 압력, 온도, 전력으로 최대 8 곳에서 여러 대상을 스퍼터팅 할 수있는 다목적 코팅 장치입니다. TCB 10은 기판을 챔버에 도입 할 수있는 완전 자동화 된 로드 락 머신 (load-lock machine) 으로 제작되었습니다. 또한 공구의 적절한 정상 상태 작동을 보장하는 디지털 컨트롤러 (digital controller) 도 갖추고 있습니다. 이 자산에는 직경이 최대 12 "인 대상을 스퍼터팅 할 수있는 10 개의 표적 스퍼터링 셀과 8x10- 토르 (1.3x10 -¹ ¹ herecometer) 까지 진공 호환성이 있습니다. CASON TCB 10은 강력한 전원 공급 장치를 사용하여 스퍼터링을 위해 뛰어난 DC 파형을 만듭니다. 이러한 전원 공급 장치는 전류 (current) 및 전압 (voltage) 에 맞게 조정할 수 있으므로 전력, 온도 및 압력을 제어할 수 있습니다. 또한이 모델에는 Ar 및 Xe 스퍼터 가스 모두에 대한 조정 가능한 가스 흐름 제어 장비가 있습니다. 이 코팅 시스템에는 각 코팅 후 챔버에서 자동으로 증착을 제거하는 자가 클리닝 메커니즘이 있습니다. 이를 통해 단위는 시간이 지남에 따라 성능 수준을 유지하며, 필름 두께를 균일하게 유지하는 데 도움이 됩니다. 이 다목적 코팅 머신은 타이타늄 (Titanium), 구리 (Copper) 및 크롬 (Chromium) 과 같은 금속을 스퍼터팅하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 ITO, MgO, AL2O3 및 기타 산화물을 스퍼터팅하는 데 사용될 수 있습니다. TCB 10은 최대 300mm 직경의 웨이퍼, 셀 및 기판을 코팅 할 수 있습니다. CASON TCB 10은 안정적이고 효율적인 DC 스퍼터링 도구를 찾을 때 완벽한 솔루션입니다. 고급 (High-End) 기능을 통해 유연하고 안정적인 코팅 프로세스를 제공하여 모든 코팅 요구 사항을 충족할 수 있습니다.