판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-730HC #9284124

CANON / ANELVA SPF-730HC
ID: 9284124
빈티지: 1988
Sputtering station 1988 vintage.
CANON/ANELVA SPF-730HC는 반도체, 태양광 제조, 디스플레이 제조 등 다양한 업계의 고성능 박막 증착 애플리케이션을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술과 정밀 엔지니어링을 결합하여 탁월한 영화 품질 및 증착 제어 (deposition control) 기능을 제공합니다. CANON SPF-730HC의 중심에는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 가 있으며, 서로 다른 재료의 동시 증착을위한 여러 음극이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 다용도 필름 컴포지션 및 레이어 (layering) 옵션을 사용할 수 있으므로 복잡한 다층 박막 구조에 이상적입니다. 이 장치는 금속 (metallic) 과 절연 (insulating) 대상 재료를 모두 지원하므로 다양한 특성을 가진 다양한 박막 (thin film) 을 배치할 수 있습니다. ANELVA SPF-730HC는 불순물이나 결함없이 깨끗하고 균일 한 필름 증착을 보장하는 높은 진공 환경을 갖추고 있습니다. 이것은 안정적이고 통제 된 증착 환경을 유지하는 고급 펌핑 시스템 (Advanced Pumping System) 과 가스 처리 메커니즘을 통해 달성됩니다. 이 기계에는 필름 속성과 증착률을 실시간으로 최적화하는 현장 (in-situ) 프로세스 모니터링 및 제어 도구가 포함되어 있습니다. SPF-730HC의 증착 과정은 대상 재료를 기판에 뿌리는 고출력 RF 또는 DC 전원 공급 장치에 의해 촉진됩니다. 이 도구는 전원 수준, 가스 유량 (gas flow rate), 증착 시간 (deposition time) 과 같은 증착 매개변수를 정확하게 제어하여 원하는 필름 두께와 구성을 달성합니다. 이 제어 수준은 다양한 응용 분야에 필요한 특정 광학, 전기, 기계적 특성을 가진 필름을 생산하는 데 중요합니다. CANON/ANELVA SPF-730HC의 주요 기능 중 하나는 고급 기판 처리 자산으로, 서로 다른 기판 크기와 재료를 지원합니다. 이 모델은 특정 크기까지 기판을 수용 할 수 있으며, 넓은 영역 기판에서 박막 (thin film) 의 처리량이 높습니다. 장비의 기판 난방 및 냉각 기능은 기판 표면에 걸쳐 최적의 필름 접착 및 균일성을 보장합니다. CANON SPF-730HC에는 편리한 시스템 프로그래밍 및 작동이 가능한 사용자 친화적 인 인터페이스와 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 배치 프로세스 매개변수, 데이터 로깅 (data logging), 레시피 관리 (recipe management) 를 직관적으로 제어할 수 있도록 하며, 이를 통해 가상 필름 제작 워크플로우를 간소화할 수 있습니다. 이 장치에는 운영 중 운영자와 장비를 보호하기위한 안전 기능 (Safety Features) 과 인터 록 (Interlock) 도 포함되어 있습니다. 결론적으로, ANELVA SPF-730HC는 광범위한 산업 애플리케이션을 위해 고성능 박막 증착 기능을 제공하는 최첨단 스퍼터링 머신입니다. 첨단 기술, 정확한 제어 기능, 자동화 기능 등으로 연구실과 생산시설을 위한 최적의 선택이 되며, 고품질의 박막 (Thin Film) 을 제작하고자 합니다. 이 도구의 다양성, 신뢰성, 효율성은 박막 (Thin Film) 기술을 발전시키고 다양한 업계의 혁신을 주도하는 데 유용한 도구입니다.
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