판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-730H #293660536
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ID: 293660536
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Sputtering system, 6"
Non-SMIF Type
Main body
Pump
Display
Pump line box
Cables box
Pump cover
Spare parts
(2) Control cabinets
Air pressure: 6-8 kgf/cm²
Water volume:
Main body: 2kgf/cm², 6 L/min
Attached: 2kgf/cm², 5 L/min
Power supply: AC200 V, 60 A, 3-Phase
1996 vintage.
CANON/ANELVA SPF-730H는 최첨단 스퍼터링 장비로, 더 작은 설치 공간에서 연구원들에게 고급 스퍼터링 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 스퍼터링 시스템은 효율적인 DC 제어 스퍼터링 프로세스와 고급 전원 공급 기술, 인체 공학적 설계를 결합하여 쉽고 직관적인 작동을 지원합니다. 전체 단위는 스퍼터링 결과의 처리량, 정확성 및 재현성을 향상시킵니다. 스퍼터링 머신은 두 가지 주요 서브 시스템 (본체와 자기장) 으로 구성됩니다. 본체에는 스퍼터 소스, 진공 도구 및 컴퓨터 제어 자산이 있습니다. 스퍼터 소스는 2 개의 트윈 마그네트론으로 구성되며, 고효율 DC 제어 마그네트론 스퍼터링 프로세스가 이루어집니다. 확산 펌프 (diffusional pump) 와 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 로 구성된 진공 모델은 스퍼터링 프로세스가 안정적이고 저압 진공 환경에서 발생할 수 있도록 보장합니다. 컴퓨터 제어 장비를 통해 전원 공급 전류, 전압, 파형 등 스퍼터링 매개변수를 정확하게 제어, 조정할 수 있습니다. 또한 자기장 배열 (magnetic field array) 을 갖추고 있는데, 이 배열 은 스퍼터 소스 (sputter source) 주위에 놓인 일련의 교차 영구 자석 으로 이루어져 있습니다. 이 "스퍼터링 '은 표적 물질 의 균일 한" 스퍼터링' 과 방향성 조절 을 통해, "스퍼터링 '된 물질 이 균등 하게 분포 되어 기판 으로부터 떨어져 나가지 않도록 한다. CANON SPF-730H 스퍼터링 장치는 고정밀도, 반복 가능하고 안정적인 결과를 요구하는 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 고급 스퍼터링 프로세스 (Sputtering Process), 다중 기능 (Multiple Features) 및 사용자 친화적 인 디자인으로, 이 스퍼터링 머신은 스퍼터링 요구에 대한 신뢰할 수있는 솔루션을 찾는 실험실 및 연구 기관에게 적합한 선택입니다.
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