판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-730 #9284116

CANON/ANELVA SPF-730은 박막 증착, 필름 증착, 미세한 분석, 계측, 트리볼로지 및 샘플 준비와 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수있는 스퍼터링 장비입니다. CANON SPF-730은 24 "직경, 24" 길이의 스테인리스 스틸 공정 챔버를 특징으로하며 10 ^ -5 Torr의 진공 상태에서 실행되도록 설계되었습니다. 내장 가스 입구, 8 부 결정 목표 보유자 및 균일 한 마그네트론 스퍼터링을위한 단일 점 자석이 장착되어 있습니다. 스퍼터링 시스템의 최대 전력 수준은 2kW (작동 정도는 100W ~ 1.2kW) 입니다. 또한 12 개의 조정 가능한 전류 범위 (최대 100 mA) 와 5 개의 회전 이동 설정 (스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어) 이 있습니다. 이 장치의 챔버는 직경 12 인치, 무게 40 파운드의 샘플을 수용하도록 설계되었습니다. 또한 샘플 홀더, 커터, 토치 및 현미경을 포함한 외부 도구에 대한 액세스를 제공합니다. 기계에 미니 퍼니스 (mini-furnace) 와 온도 컨트롤러 (temperature controller) 를 설치하여 증착이 두껍게 될 수 있습니다. ANELVA SPF-730에는 에칭 챔버, 서셉터 제어 RF- 플라즈마 소스, RF 매칭 네트워크 및 마그네트론 스퍼터링 컨트롤러가 장착 된 내장 플라즈마 도구가 장착되어 있습니다. 공정 개발 (process development) 이나 연구 과정에서 필름 증착을 모니터링하기 위한 적외선 검출기를 장착할 수도 있다. SPF-730은 다양한 어플리케이션에 적합한 안정적이고 효율적인 스퍼터링 모델입니다. 사용하기 쉬운 제어 장비와 광범위한 기능을 통해 연구 실험실, 박막 증착, 샘플 준비, 계기에 이상적인 선택이 가능합니다.