판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-730 #9031246

CANON/ANELVA SPF-730은 다양한 박막 응용 분야에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 광범위 한 "스퍼터링 '과정 에 적합 하며, 금속 및 유전체" 필름' 과 같은 물질 을 퇴적 시키는 데 사용 될 수 있다. 캐논 SPF-730 (CANON SPF-730) 은 처리율이 높은 넓은 지역에 대해 정확하고 균일 한 증착을 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 MMS (Multi-Magnetron Sputtering) 기술을 기반으로하며, 최적화된 스퍼터링 방법을 사용하여 여러 영역에 걸쳐 내구성과 균일 한 코팅을 만들 수 있습니다. 이 장치는 고유 한 모듈 식 챔버 (modular chamber) 설계를 특징으로하며, 이는 퇴적된 레이어의 더 나은 균일성을 달성하는 데 도움이됩니다. ANELVA SPF-730에는 2 개의 마그네트론 세트가 있으며, 하나는 상단에, 하나는 챔버 바닥에 있습니다. 이 기계는 음극 호 증발 (cathodic arc evaporation) 기술을 사용하여 기판을 향해 가속 된 활력 이온을 방출합니다. 이것 은 증착 효율성 과 속도 가 높은, 거대 한 기판 에서도 균일 한 예금 을 달성 하는 데 도움 이 된다. 마그네트론 (Magnetron) 전원 공급 장치를 독립적으로 제어하며, 하단 (Bottom) 과 상단 (Top) 자석을 모두 제어하는 RF 발전기로 구성되므로 레이어의 균일 한 증착을 제공합니다. 이 도구에는 기판 수동 로드/언로드에 도움이 되는 2 개의 엘리베이터가 있습니다. SPF-730의 가스 공급 자산에는 2 개의 독립적 인 Argon (Ar) 및 Oxygen (O2) 가스가 포함되어 있습니다. 2 개의 가스 소스는 스퍼터 증착 과정을 최적화하기 위해 개별적으로 조절 될 수있다. CANON/ANELVA SPF-730은 또한 냉각 장치를 특징으로하여 작동 중에 챔버 온도를 낮게 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 프로세스 사이클, 타이밍 (timing), 가스 흐름 속도 (gas flow rate) 등 다양한 매개변수를 설정하는 데 도움이 되는 제어 장치도 포함되어 있습니다. 또한 Touchscreen Operator 패널과 LCD 디스플레이를 통해 작업 중에 장비를 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템은 일반적으로 저-k 유전층에서 고-k 유전층, 금속 필름 및 화합물에 이르는 다양한 유형의 박막 코팅 생산에 사용됩니다. 반도체 웨이퍼 제작, 하드 디스크 드라이브 생산, 디스플레이/터치 패널 제작, 센서 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 캐논 SPF-730 (CANON SPF-730) 은 고효율의 스퍼터링 유닛으로, 다양한 산업 분야에 대해 균일하고 내구성이 뛰어난 박막을 만들 수 있습니다. 기계는 작동하기 쉽고 증착 과정을 정확하게 제어합니다.