판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-710H #157670

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ID: 157670
Chrome sputtering system Includes: SPF-710H Instruction Manual 922-9252 Pumping Controller, MIG-820 Wide Range Ionization Gauge Operation Manual PRF-503 RF Generator OF Gauge Selector Diffusion Pump Forepressure Controller 2” Pneumatic Valve, Heating Power Controller with a temperature controller 2033/2063 Alcatel Mechanical Rotary Pump CDP-2400/3700 Oil Diffusion Pump, Vacuum Breaker (M.P. Vent Valve) Bridge Type Main Valve BN86-E NB-86S Flow Switch Gas Feed Valve Controller MTG-012 Thermocouple Vacuum Gauge CMS-301 Orifice Controller and CMS-201 Flow Controller/CMS-221 Mass Flow Meter 922-953 Power Supply: / 220 V / 3 Phase / 40A.
CANON/ANELVA SPF-710H는 박막 증착 및 금속화 프로세스에 사용되는 고급 분석 스퍼터링 장비입니다. 생산 및 대규모 연구 및 개발 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 시스템은 스퍼터 소스, 기판 히터, 드라이브 어셈블리, 진공 챔버, 제어판, 배기 장치 등 다양한 구성 요소로 구성됩니다. CANON SPF-710H 스퍼터 소스는 저압 챔버와 텅스텐 목표를 갖추고 있습니다. 표적을 기화시키기 위해 무선 주파수 (RF) 광선 방전을 사용하는 전통적인 스퍼터 소스와 달리 ANELVA SPF-710H는 직류 (DC) 바이어스 전압을 사용하여 이온 스퍼터링을 용이하게합니다. 이것은 방출 균일성과 스퍼터링 속도를 향상시킵니다. 기판 히터는 강착 중 기판의 온도를 유지하도록 설계되었으며, 드라이브 어셈블리 (drive assembly) 는 위치 및 기판 이동을 정확하게 제어합니다. SPF-710H의 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 고급 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 최대 8 인치 크기의 기질을위한 넓은 넓은 영역을 특징으로합니다. 고귀한 "가스 '배달기 와 결합 된 강력 한 진공" 펌프' 는 방 에 고도 의 진공 상태 를 유지 한다. 이를 통해 빠르고 효율적인 박막 증착이 가능합니다. CANON/ANELVA SPF-710H 의 제어판 (Control Panel) 은 매우 정교하며 사용자가 공구의 다양한 기능과 매개변수를 정확하게 제어할 수 있도록 합니다. 직관적 인 그래픽 인터페이스가 포함되어 있으며 일반적으로 사용되는 작동 조건으로 사전 프로그래밍됩니다. 또한, 유해 가스와 전기 충격으로부터 사용자를 보호하기 위해 다양한 안전 (safety) 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로, CANON SPF-710H에는 스퍼터 된 입자와 가스를 빠르고 효율적으로 대피시키는 강력한 배기 자산이 포함되어 있습니다. 이는 오염을 줄이고 안전하고 건강한 작업 환경을 유지하기 때문에 고진공 증착 (high-vacuum deposition) 과정에서 특히 중요합니다. 요약하면, ANELVA SPF-710H는 광범위한 박막 증착 및 금속화 애플리케이션에 적합한 포괄적인 고급 분석 스퍼터링 모델입니다. 스퍼터 소스 (sputter source), 기판 히터 (substrate heater), 드라이브 어셈블리 (drive assembly) 및 컨트롤 패널 (control panel) 을 포함한 정교한 구성 요소는 안정적이고 효율적인 작동을 위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. 또한, 고급 안전 기능과 강력한 배기 가스 장비는 안전하고, 오염이 없는 작업 환경을 보장합니다.
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