판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-540H #9053829

CANON/ANELVA SPF-540H 스퍼터링 장비는 다양한 응용 프로그램에서 사용하도록 설계된 정밀 스퍼터 증착 시스템입니다. 고급 설계를 통해, 이 고급 장치는 구성 (composition), 텍스처 (texture), 형태 (morphology) 와 같은 매개변수를 정확하게 제어하여 다양한 기판에서 박막 (thin film) 을 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 고유한 머신은 고급 리서치 및 생산 도구 제조 (Manufacturing of High-End Research and Production Tools) 를 포함하여 다양한 유형의 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. CANON SPF-540H 장치에는 3 챔버 회전 마그네트론, 전원 공급 장치, 이온 소스, 스퍼터링 대상 및 다각형/회전 기판 보유자가있는 DC 전원이 장착 된 증착실이 포함되어 있습니다. 증착 과정. 이 장치에는 스핀 온 글라스 및 열분해 유리가 포함되어 있습니다. 박막 증착에서 대용량 단석기 성 CVD 프로세스에 이르기까지 다양한 프로세스에서 사용할 수 있습니다. 전원은 스퍼터링 (Sputtering) 및 이온 (Ion) 소스에 대한 DC 펄스의 강도를 제어하도록 구성되며, 다양한 출력 전압, 전류 범위 및 사이클 속도를 지원합니다. 챔버 (chamber) 는 공정에 대해 최대 1000 ° C의 온도를 처리 할 수 있으며, 표적은 기판에 대해 회전 할 수 있습니다. 회전 마그네트론 (rotary magnetron) 은 기판 전체에 균일 한 증착을 제공 할 수 있으며, 이온 소스는 다양한 증착 프로파일 (deposition profile) 에 대해 프로그래밍 될 수있다. 증착 과정에서 기판에서 침전물을 모니터링 할 수 있으며, 스퍼터링 소스 (sputtering source) 는 다양한 조성을 위해 프로그래밍 될 수있다. 이 툴은 다양한 유형의 모니터링 소프트웨어 (monitoring software) 와도 호환되므로 프로세스를 손쉽게 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한, 원격 방식으로 ANELVA SPF-540H를 작동 할 수 있습니다. 즉, 자산은 원격 위치에서 모니터링 및 제어 할 수 있습니다. 전반적으로 SPF-540H는 강력하고 다재다능한 스퍼터 증착 모델입니다. 그것 은 여러 가지 "응용프로그램 '에 적합 하며, 다양 한 기판 에 있는 박막 을 정확 하게 처리 할 수 있다. 원격지에서 모니터링하고 작동할 수 있는 고급 (Advanced) 설계와 기능을 통해 다양한 사용자에게 이상적인 툴이 됩니다 (영문).