판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-510 #9148249

CANON/ANELVA SPF-510은 금속 및 유전체 박막의 스퍼터 증착을 위해 설계된 고급 박막 증착 장비입니다. 이 시스템은 플랫 (flat) 서브페이스 및 곡면 (curved surfaces) 에서 박막 증착에 최적화되었습니다. CANON SPF-510은 6 인치 원형 증착 면적과 4 개의 1 인치 MN 소스 건이있는 UHV 챔버를 갖추고 있습니다. 이 장치는 최대 800 ° C의 공정 온도로 높은 처리량 박막 증착이 가능합니다. 이 기계는 재료 과학, 마이크로 일렉트로닉스, MEMS/NEMS 및 박막 태양 전지를 포함한 다양한 과학 연구 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. ANELVA SPF-510은 1 × 10 -3 Pa까지 낮은 챔버 압력 작동을 허용하는 모든 금속 게이트 밸브가있는 높은 순도 펌핑 도구를 갖추고 있습니다. 에셋에는 최적의 프로세스 제어를 위해 실시간 챔버 압력 모니터도 장착되어 있습니다. 이 모델의 소스 건에는 고효율 소스 전원 공급 장치 (500W ~ 5kW) 가 있습니다. 이를 통해 우수한 균질성과 균일성을 갖춘 빠른 증착률 (최대 10 nm/s) 이 가능합니다. 이 장비는 플랫 웨이퍼 (flat wafer) 와 튜브 유사 기판 (25.4mm) 과 같은 대형 기판과 함께 사용할 수 있습니다. SPF-510은 스퍼터 증착 외에도 반응성 스퍼터링을 지원합니다. 이 시스템에는 고급 프로세스 제어 및 균일성을 위한 보호 RF 전원 공급 장치가 있습니다. 이 장치에는 다중 채널 비례 미터 컨트롤러 (Multi-Channel Proportional Metric Controller) 가 장착되어 있으며, 대상 두께, 증착률, 압력 등의 스퍼터 프로세스 매개변수를 본격적으로 조절할 수 있습니다. CANON/ANELVA SPF-510은 설치와 작동이 간편합니다. 이 컴퓨터에는 빠른 프로세스 매개변수 (parameter) 설정이 가능한 직관적인 사용자 인터페이스가 제공됩니다. 이 도구는 프로덕션 환경에서 안정적이고 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. 또한이 자산은 정확하고 반복 가능한 처리를 위해 고성능 디지털 피드 포워드 (forward-closed-loop) 온도 제어 모델을 갖추고 있습니다. 전반적으로 CANON SPF-510은 처리량이 많은 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템의 기능을 사용하면 금속 및 유전체 박막 (dielectric thin film) 의 증착에 대한 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 이 장치는 설치와 작동이 용이하며, 다양한 박막 증착 (Thin Film Deposition) 어플리케이션에 적합합니다.